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2018-03-05 发布于河南
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棕化工艺问题解析指南

CIRCUBONDTM 2200 棕化工艺问题解析指南罗门哈斯电子材料(东莞)有限公司 January . 2005 RHEM Confidential TM TM CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南 CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南故障排除步骤故障排除步骤分析所有槽液各成分含量 DES中的退膜液检查下列条件是否变化流速温度液位铜箔类型 H O 浓度或预浸液中铜含量 2 2 层压板周期 RHEM Confidential TM TM CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南 CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南综述开缸： • 在开缸时，2218A、2218B中的成份将可能因DI水温度低而沉淀出来，导致分析结果偏低。如果在此时补加药水，待温度升高，成份重新溶解出来就会造成实际浓度偏高。为了避免以上情况发生，请在配槽时第一步先加入浓HSO ，再加 2 4 入2218A及2218B。请使用经过处理或浸泡清洗的过滤芯，以免将过滤芯中的粘合剂和润滑剂带入槽液。未经过处理的过滤芯可能带来大量的泡沫和发亮的棕化涂层。 RHEM Confidential TM TM CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南 CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南 CL¯ CL¯的存在可能污染整个棕化槽。如果CL¯超标，整槽药水必须废弃重开。任何可能带入CL¯的来源在开缸前必须被清除 RHEM Confidential TM TM CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南 CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南 CL¯的来源有以下途径自来水。不要使用自来水配槽。 • 处理不良的DI水。当离子变换系统使用HCL做为再生剂时需要特别留意再生后的清洗过程，必须保证HCL被彻底清洗。罗门哈斯建议使用 H SO 做为再生试剂取代盐酸。 2 4 低质量的H O 。建议H O 中CL¯含量应小于10ppm。 2 2 2 2 RHEM Confidential TM TM CIR