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GaP÷NLPE片的位错对发光亮度的影响
20 1 Vol . 2 0 , No . 1
1 99 9 3 CHINESEJOU RNAL OF LUM INESCENCE Mar. , 1999
÷ 片的位错对发光亮度的影响
GaP N LPE
李桂英 李永良 王亚非 杨锡震 孙寅官
( , 100875)
( , , 100083)
( ) ÷ ( )
SEM GaP N LPE
N D . :
LPE N D , N D LPE N D .
÷ , ,
GaP N
1 前 言
GaP LEC LPE ( LED)
[ 1, 2]
. 20, GaP÷N LPE
D .
N
: GaP , GaP
: , D ; , S
[ 3]
. , S . LED ,
.
D
SEM GaP LPE
. : LPE N D ; LPE N D
D , D D .
N N LPE N
2 实 验
H2 SO4 ÷H2 O2 ÷HF= 3÷2÷2( ) , 322. GaP
, ( 111) Ga ( 111) P ,
( 100) ( 100) . , ( 100) ; ( 111) Ga
; ( 111) P . ,
, . , 90 ,
815. ,
, 30 0,
, 090 815,
. X- 50SEM . : 20kV , 15mm.
, N D N D .
, ,
1998530
1 : GaP÷N LPE 5
. .
: YS-90SD-975 4550mm
LPE ; YS-92YS-9324305 4550mm
LPE ; 32, 333 LED .
3 结果和讨论
GaP ÷N LPE GaP ( 111) P , SEM GaP
LPE ; , GaP( 111) Ga ,
, . ,
LPE N D . 1( a) , ( b) . : GaP LPE
1000 , ( 1470 ) , , LPE
. 1.
1GaP LPE
Fig . 1Etched pit of GaP LPE samples.
1
Table 1Measurement results.
YS-90 YS-92 YS-93 SD-97 32 33 3
5 / mm 45 45 45 45 50 50 50
5 - 2 0. 223 0. 908 0. 11 0. 538 1. 74 1. 23 1. 77
LPE N D/ 10 cm
5 - 2 1. 3 1. 2. 00 1. 91 2. 98 2. 83 2. 80
N D/ 10 cm
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