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国内外宽带反射膜的发展概况 1引言 随着科技在发展，宽带反射膜的设计要求越来越高，希望得到低的反射率，大的光谱宽带，同时希望在更大的入射角范围得到，对于宽带反射膜，可以通过改变一下参数来达到所需要求，基底材料、膜层材料、膜层厚度、膜层层数、设计方案等，通过不断的尝试，优化，进而获得性能更好的宽带反射膜。本文就国内外宽带反射膜的发展情况进行介绍。 2国内宽带反射膜的研究 1980年1月，齐钰在《光纤机械》发表一篇名为“具有非均匀层消色差宽带减反射膜的研究”的文章，提供一种以Al2O3-ZrO2-MgF2三层减反膜为基础,应用非均匀的中间层,实现消色差宽带减反射,将玻璃表在可见区小于0.5%反射的带宽增加到400μm。 1983年3月，昆明物理研究所的李忠奇在《光学学报》上发表了名为“红外高效率、宽带减反射膜”的文章，将(aba(aba非对称膜,推得等效析射率的计算公式。并用来设计高效率、宽带红外减反射膜。文中给出了计算和试验结果。对于锗基板,在InSb（3-5μm)和HgCdTe（8-12μm）探测器的响应波段,这种膜的平均透射率为始侃;在2-13μm、3-14μm和3.5-15μm波段,平均透射率≥94%,特别是在3.8-14.8μm共11μm宽的波段范围内,最低透射率≥90%。 同年4月，上海光机所的毛书正在《光学仪器》上发表了名为“宽带与超宽带减反射膜”的文章，采用四分之一波长整数倍膜系。膜系层数尽量少(三层到六层),就能使折射率从l.48至l.755的各种光学镜头的一个表面反射损失从3.75%一7.53%降低到0.35%以下。减反射光谱带宽可达到整个可见光语区或从近紫外到近红外光谱区。 1985年2月，邹自立将减反射膜运用到光纤通信中，在《光通信技术》上发表“纤维通信光学中的宽带减反射膜” 系统而间接的方法导出了在近红外区(700-1700nm)镀制宽带减反射膜的一般条件。并在计算过程中指明了怎样、何处、以何种方法求得带宽最宽、损耗最低的反射率条件。 1991年9月，中国科学院长春光学精密机械研究所齐钰、郑琪在《光学学报》上发表“宽带减反射膜设计的一种新方法”的文章，提出实现宽带减反射膜系设计的新方法。该方法成功地设计出在可见光谱区的平均剩余反射率小于0.2%、减反射带宽390nm的四层等厚膜系。 2004年，徐晓峰、张凤山、范滨在《光学学报》上发表了“宽角度入射600-700 nm波段减反射薄膜的研究”，利用非均匀膜系理论设计宽角度多层减反射薄膜的方法, ,选取Ta2O5和SiO2两种材料作为折射率材料,选取BK7作为基底材料模拟设计了光谱区在600-700 nm波段、入射角为0°-80°之间的宽角度多层减反射薄膜, 膜系为48层，结果显示: 0°-80°入射角,600-700 nm优化波段,s光和p光透过率都超过了95%。达到了较理想的结果。 同年10月，潘永强、朱昌在《红外与激光工程》中发表“硒化锌基底 8-12μm高性能增透膜的研究”， 采用离子束辅助沉积该膜系, 给出了用该方法制备的 8-12μm波段宽带减反射膜的实测光谱曲线,其峰值透过率高达99%以上, 在设计波段范围内平均透过率大于98%, 膜层附着性能好, 光机性能稳定。 2005年6月，潘永强、朱昌、杭凌侠在《应用光学》中发表“锗基底7-11.5μm高性能红外宽带减反射膜的研究”的文章，运用锗基底，采用离子束辅助沉积，制备的7-11.5μm波段宽带减反射膜的实测光谱曲线,其峰值透过率高达99.5%以上,在设计波段范围内平均透过率大于97.5%,膜层附着性能好,光机性能稳定。 2007年，徐晓峰、杜西亮等在《光电子·激光》上发表了“宽角度入射400-700 nm波段减反射薄膜的研究”，利用非均匀膜系理论设计宽角度多层减反射薄膜的方法 ,选取MgF2、HfO2和TiO23种材料作为折射率材料,选取BK7作为基底材料,模拟设计了光谱区在400-700nm波段、入射角为0°-70°的多层减反射薄膜,其P光和S光透过率达90%以上。 2009年2月，闫兰琴、张树玉等在《激光与红外》发表了“ZnSe基底7-14μm波段宽带增透膜”，采用离子辅助沉积技术沉积该膜，给出了用该方法制备的7-14μm波段宽带减反射膜的实测光谱曲线,其峰值透过率高达98%以上,在设计波段范围内平均透过率大于97%,膜层附着性能好,光机性能稳定。 同年7月，郑臻荣、顾培夫等发在《光学学报》上发表“超宽带减反射膜的设计和制备”，设计了400-900nm波段上的超宽带减反射膜,在410-850nm范围内的平均残余反射率设计值约为0.2%,在设计的全波段上约为0.24%。实验制备了K9玻璃上TIO2/MgF2两种材料组成的8层结构的超宽带减反射膜,实测结果表明,在带宽520nm范围内的平均残余