基于犕犈犕犁工艺的高能量密度微电磁驱动器.pdf

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ ６ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．６ 　 　 　 　　　　　　　　 ＯｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ ６ Ｊｕｎ．２００７ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７０６０８６６０７ 　 基于犕犈犕犛工艺的高能量密度微电磁驱动器 ， ， １２ １ １ １２ １ １ 张 涛 ，吴一辉 ，黎海文 ，刘 波 ，张 平 ，王淑荣 　 　 　 （ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室， １． 吉林 长春 ； 中国科学院研究生院 ，北京 ） １３００３３２． １０００３９ 摘要：提出了制作高能量密度电磁驱动器的工艺方法。利用微机械（ ）工艺在硅片上得到多匝平面线圈和磁芯的掩模图 ＭＥＭＳ 形，接着沉积种子层铜（ ），然后对种子层进行整体 的电铸；当种子层生长到 左右时，剥离硅片表面的镀层并用光刻 Ｃｕ Ｃｕ ２０ ｍ μ 胶保护磁芯位置的镀层；再用沿线电铸的方法对线圈进行电铸；最后保护制作好的线圈镀层，电铸ＮｉＦｅ合金材料。在 １０ｍｍ× 的硅片上，制作出线圈匝数 （铜线截面积 、总长度达 ）、 合金磁芯尺寸为 １０ｍｍ×０．３８ｍｍ ２２×２ ６０ ｍ×６０ ｍ １１６４ｍｍ ＮｉＦｅ ３ μ μ ｍｍ×３ｍｍ×０．２ｍｍ的高能量密度微型电磁驱动器。把这种微型驱动器应用于无阀微泵做驱动实验：通入０．３Ａ的正弦电流 时，微驱动器产生约５０ｍＮ的电磁力。实验结果表明：这种型微电磁驱动器在相同的输入功率下，比同类其他微电磁驱动器具 有更高的能量密度，能产生更大的电磁驱动力。 关 键 词： ；微型电磁驱动器；高能量密度；多匝双层平面微线圈；厚 合金镀层 ＭＥＭＳ ＮｉＦｅ 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＭ５７ＴＰ２７１．４ Ａ 　　 犕犻犮狉狅犲犾犲犮狋狉狅犿犪狀犲狋犻犮犪犮狋狌犪狋狅狉狑犻狋犺犺犻犺 犵