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太阳能电池片生产设备 以半导体的质量标准应用于太阳能高效电池片生产 简介 SVCS 将多年半导体行业的经验与质量带入太阳能电池片生产中。SV SOL设备家族 包括应用于磷扩散，硼扩散工艺的卧式扩散炉，应用于抗反射涂层和钝化处理工艺 PECVD以及LPCVD设备，超高纯气体和液体传输系统。所有设备同时可以应用于大 批量生产和研发用途。 设备 • 磷，硼掺杂/扩散工艺的常压扩散炉（三氯氧磷，三溴化硼等） • 高产能三氯氧磷工艺的低压扩散炉 • 应用于氮化硅抗反射涂层和钝化处理的卧式PECVD • 高纯气体的全自动/手动气源柜（硅烷，氨气，氧气等） • 各种热反应炉和其他设备的独立气体/液体传输管线中的全自动/手动阀门箱 • 扩散炉鼓泡容器中的自动温度控制器（三氯氧磷/三溴化硼等） • 为自动鼓泡容器补液的散装液体介质传输系统 • 干/湿氧工艺（钝化处理等）的卧式扩散炉 • 湿或高热废气减排系统（scrubbers） 太阳能电池片生产设备 以半导体的质量标准应用于太阳能高效电池片生产 磷，硼掺杂/扩散工艺的常压扩散炉 扩散 SVCS 为磷/硼掺杂工艺提供为优化工艺结果，提高最大产能而设计的扩散炉，以及 为光伏研发和试生产领域提供高灵活性，小规模版本应用。可以提供便于维护，安 全和可靠的卧式扩散炉平台。 SVCS设计的杰出性的体现在为高效率，低成本生产 提供高工艺灵活性的解决方案。 此套系统装有多达5根独立的石英炉管和自动化的炉桨装载和卸载系统。在石英舟 装载之后,系统升温并保持稳定， 开始工艺，磷/硼沉积和驱入。氮气作为三氯氧磷/ 三溴化硼的运载气体。完成扩散和冷却步骤后，炉管打开并卸载石英舟。先进的水 冷却系统保证各个炉管间没有热干扰。整个系统可以为产能进行调节。基于SVSOL 炉体控压技术的低压扩散炉也被研发出来。 常压磷/硼掺杂（三氯氧磷，三溴化硼） SVSOL-AT 系统应用于传统的太 阳能电池片单晶硅和多晶硅生产