第一批技术攻关计划项目指引重0001背沟道刻蚀型铟镓.doc

2015年第一批技术攻关计划项目指南 背沟道刻蚀型铟镓锌氧化物（a-IGZO）液晶面板关键技术研发 低温多晶硅（LTPS）液晶面板制造用掩模版关键技术研发 集成触控显示一体化关键技术研发 基于石墨烯的声学振膜及信号调理模块关键技术研发 新一代变声阻尼辐射声学关键技术研发 三电平光伏逆变器专用驱动电路的关键技术研发 光通信用光模块印制电路板关键技术研发 新型服务器关键技术研发 连续视点高清晰度裸眼3D显示终端关键技术研发 基于电力线通信（PLC）的智能家居解决方案关键技术研发 柔性显示器件关键技术研究 传感芯片系统级封装（SIP）测试关键技术研发 高清广角图像处理器芯片关键技术研发 基于声波通信的安全支付芯片关键技术研发 基于脑电信号的无创血糖分析芯片研发 100G 光传送网（OTN）成帧处理芯片关键技术研发 移动智能终端信息安全系统关键技术研发 主机恶意行为监控与分析关键技术研发 基于有源光缆（AOC）的全光互连接入网关键技术研发 4G TD LTE 高铁通信网络系统关键技术研发 面向未来的SDN 光接入网关键技术研发 带内高精度无线地面定位网关键技术研发 基于软件定义的分组传送网(SPTN)关键技术研发 基于异构云计算的CAE软件高性能数值仿真平台研发 集群文件系统中海量小文件并发处理关键技术研发 跨平台互联网移动应用开发平台关键技术研发 下一代智能电视操作系统关键技术研发 食品安全检测用基因工程抗体技术研发 阿尔茨海默病遗传机制及生物标记技术研发 骨质疏松性椎体骨折修复新技术研发 糖尿病并发症创新药物的临床前研究 新一代基因测序技术的研发 重金属污染场地修复关键技术研发 纳米陶瓷纤维与高聚物复合材料关键技术研发 芯片封装专用固晶锡膏关键技术研发 4.35V高电压三元材料电池电解液键技术研发 用于大面积真皮再生修复的人工皮肤材料关键技术研发 高效低阻空气滤材关键技术研发 用于汽车防碰撞吸能系统的树脂基复合材料关键技术研发 750吨/天以上大型生活垃圾焚烧炉炉排关键技术研发 核电站用高可靠性超大功率变流器关键技术研发 多电平储能系统并网储电关键技术研发 核电厂乏燃料干法贮存关键技术研发 弧焊机器人用全数字电源关键技术研发 高压防爆变频器关键技术研发 建筑废弃物就地处理一体化系统关键技术研发 立方星高频天线研发 海洋浮游动物在线成像仪关键技术研发 汽车辅助驾驶系统关键技术研发 六轴联动机器人关键技术研发 紫外激光器研发 超高频血管内超声成像系统研发 塑钢缠绕管连接关键技术及其设备研发 万吨级多功能试验机成套技术及设备研发 石油井下非接触式液位监测技术及设备研发 气固两相流粉料输送质量流量计研发 --------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------- 背沟道刻蚀型铟镓锌氧化物(a-IGZO)液晶面板关键技术研发 一、领域：新型电子元器件 二、主要研究内容 （一）源漏电极材料和刻蚀（腐蚀）液的选取，刻蚀和腐蚀对a-IGZO背沟道损伤机理的阐明以及背沟道损伤的修复技术等； （二）背沟道钝化技术研究； （三）TFT器件稳定性研究； （四）TFT 面板制程关键技术研究； （五）采用IGZO的液晶显示面板技术研究和