莫尔条纹测量位移五.ppt

2、光栅的外形及结构 4、光栅副：指示光栅＋主光栅 安装有直线光栅的数控机床加工实况 优点：对莫尔条纹信号波形要求不严格，电路简单，可用于静态和动态测量系统。 缺点：光电元件安放困难，细分数不能太高。 辨向电路 * * 河 南 工 业 职 业 技 术 学 院 电 气 工 程 系 第五讲 光栅传感器 一、光栅的种类和结构 二、光栅传感器的构成 三、莫尔条纹的形成原理及特点四、莫尔条纹测量位移 五、细分技术 六、辨向技术 光栅传感器是根据莫尔条纹原理制成的一种脉冲输出数字式传感器，它广泛应用于数控机床等闭环系统的线位移和角位移的自动检测以及精密测量方面，测量精度可达几微米。只要能够转换成位移的物理量，如速度、加速度、振动、变形等，均可测量。 一、光栅的类型和结构 光栅 透射式光栅 反射式光栅 通常是由在表面上按一定间隔制成透光和不透光的条纹的玻璃构成 在金属光洁的表面上按一定间隔制成全反射和漫反射的条纹。 光栅 长光栅 圆光栅 测量线位移的光栅为矩形并随被测长度增加而加长 测量角位移的光栅为圆形 1、光栅的类型 尺身 尺身安装孔 反射式扫描头 （与移动部件固定） 扫描头安装孔 可移动电缆 防尘保护罩的内部为长磁栅 扫描头（与移动部件固定） 光栅尺 可移动电缆 长光栅 圆光栅 通常a=b；光栅的精度越高，栅距W就越小；一般栅距可由刻线密度算出，刻线密度为25，50，100，250条/mm。 3、栅距 黑白透射直线光栅是在镀有铝箔的光学玻璃上，均匀地刻上许多明暗相间，宽度相同的透光线，称为栅线。设栅线宽为a，线间缝宽为b，a+b=W称为光栅节距(栅距)。 二、光栅传感器的构成 对于线位移测量，两块光栅长短不等，长的随运动部件移动，称为标尺光栅，短的固定安放，称指示光栅；而测量角位移时，一块圆光栅固定，另一块随转动部件转动。 光栅传感器结构为： 光栅传感器由光源、透镜、光栅副（主光栅和指示光栅）和光电接收元件组成。如图5-5-1所示。 图5-5-1光栅传感器的组成 三、莫尔条纹的形成原理及特点 当两块光栅互相靠近且沿刻线方向保持有一个夹角θ时，两块光栅的暗条与亮条重合的地方，使光线透不过去，形成一条暗带 ；而亮条与亮条重合的地方，部分光线得以通过，形成一条亮带 。这种亮带与暗带形成的条纹称为莫尔条纹。 1、莫尔条纹的形成原理 图5-5-2 莫尔条纹 B 2、莫尔条纹的宽度 （θ为主光栅和指示光栅刻线的夹角，弧度） 设a=b=W/2，则 所以， 当θ很小时， 3、莫尔条纹的特点 1）莫尔条纹的移动方向与光栅夹角有对应关系 当主光栅沿栅线垂直方向移动时，莫尔条纹沿着夹角θ平分线（近似平行于栅线）方向移动 表5-1莫尔条纹和光栅移动方向与夹角转向之间的关系 向上 向右 向下 向左 逆时针方向 向下 向右 向上 向左 顺时针方向 莫尔条纹移动方向 标尺光栅移动方向 标尺光栅相对指示光栅的转角方向 2）光学放大作用 由公式B=W/θ可知，当W一定，而θ较小时，可使θ1，则BW。 如：长光栅在一毫米内刻线为100条，θ＝ ＝0.00029 rad，则：B=0.01/0.00029≈3.44mm，放大344倍。 放大倍数可通过改变θ角连续变化，从而获得任意粗细的莫尔条纹，即光栅具有连续变倍的作用。 3）均化误差作用 莫尔条纹是由光栅的大量刻线共同形成，对光栅的刻线误差有平均作用。 四、莫尔条纹测量位移 光栅每移过一个栅距W，莫尔条纹就移过一个间距B。通过测量莫尔条纹移过的数目，即可得出光栅的位移量。 由于光栅的遮光作用，透过光栅的光强随莫尔条纹的移动而变化，变化规律接近于一直流信号和一交流信号的叠加。固定在指示光栅一侧的光电转换元件的输出，可以用光栅位移量X的正弦函数表示，如图5-5-3所示。只要测量波形变化的周期数N（等于莫尔条纹移动数）就可知道光栅的位移量X，其数学表达式为 图5-5-3 光电元件输出与光栅位移的关系 X=N·W 在实际装置中常将光源、计量光栅、光电转换和前置放大组合在一起构成传感器（光栅读数头）；将具有细分辨向的差补器、计数器和由步进电机、打印机或绘图机等组成的受控装置装在一个箱内，常称为数字显示器。 计量光栅 光电转换 前置放大 光源 细分辨向 受控装置 计数 传感器 数字显示器 3自由度光栅数显表 防护罩内为直线光栅 光栅扫描头 被加工工件 切削刀具 角编码器安装在夹具的端部 五、细分技术 当使用一个光电池通过判断信号周期的方法来进行位移测量时，最小分辨力为1个栅距。为了提高测量的精度，提高分辨力，可使栅距减小，即增加刻线密度。另一种方法是在双光电元件的基础