低温泵保养-(NXPowerLite).pptVIP

冷冻机内其他可能交换的部品 导向销:销子磨损超过1/4以上需要更换 冷冻机内其他可能交换的部品 高低压阀体:磨损或密封不良时需要更换 冷冻机内其他可能交换的部品 摇锁座吊臂:损坏或间隙变大产生干扰时需要更换 冷冻机内其他可能交换的部品 固定位置O型圈:破损老化或者检漏泄漏处需 要更换。 马达：马达驱动轴断裂或扭矩明显不足时需要交换。 气缸：使用超过十年或内部刮伤、有氦气泄漏的需要更换。 马达键：磨损严重时需要交换。 其他部件：有破损或明显不可修复变形时，需要交换。 压缩机日常点检 压缩机氦气填充 スパッタに使用されているクライオポンプ、インナーキットの写真です。 フィルター用で、メタルスパッタよりも汚れ酷くなっています。 インナーキットの交換が必要になります。 蒸着装置に使用されているクライオポンプインナーキット写真です。 水分が多く発生する為、再生時に黒化処理が剥離する現象見られます。 インナーキットの交換が必要になります。 有害物を排気しているポンプは、無害化洗浄、インナーキットの交換が 必要になりますが、有害物を排気していないポンプに関しては、状況により 交換しております。 ８０Ｋバッフルは、鏡面になっている為、輻射熱を反射し温度上昇を 防止します。 逆に汚れていると、輻射熱を吸収し温度上昇する場合があります。 ８０Ｋシールドは、黒化処理がなされております。 黒化処理が剥離していますと、輻射熱が反射し、１５Ｋパネルへの熱負荷が 増大し、温度上昇の原因となります。 使用した１５Ｋパネル（１）です。 メッキ表面が汚れている為、輻射熱を吸収し温度上昇が発生する 可能性があります。 * Ultimate in Vacuum since 1952 低温泵的构造、保养项目及压缩机的日常点检　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 愛発科商贸（上海）有限公司 2007年1月13日 　 １、低温泵的构造 ２、挡板的保养 ３、冷冻机的保养 ４、压缩机的日常点检 目次 ８０Ｋ挡板 １５Ｋ冷凝板 ８０K屏蔽筒 Ｈ２Ｖ温度計 活性碳吸着材 安全弁 Ｈ、Ｈｅ Ｎ２、ar Ｈ２O 低温泵的构造 冷凍機１段冷头 冷凍機２段冷头 冷凍機 压缩机 将氦气压缩之后送到冷冻机里 冷冻机 使被压缩的氦气在冷冻机里膨胀，冷却作用 泵壳 泵体内（挡板处）将气体凝固，使气体被吸空获得真空 ※上述的三个系统组成一个整体的低温泵系统运转。　 低 温 泵 的 构 成 为什么要定期保养？ 泵 腔体 蒸着物 工业（艺）气体 生成物 因为是储存式的 泵、所以内部 会受污染 溅射设备用的泵体内部 起着过滤作用 所以污染程度 比溅射的金属还 要更污染 蒸发台使用的泵体内部 因为会产生很多水 分再生时屏蔽筒的 涂装处理层面会受 影响，出现涂装层 面脱落的现象 交換部品 １５Ｋ冷凝板（１） 如有必要则更换 １５Ｋ冷凝板（２） 如果有污染进行更换 ８０Ｋ挡板 视情进行更换 ８０Ｋ屏蔽筒 如有必要则更换 ８０Ｋ挡板 因为表面不光滑辐射出来的热量将被吸住，使温度上升 因为表面光滑将辐射出来的热量反射掉，防止温度上升 再生品 污染时的情况 再生品 污染后屏蔽筒 ８０ Ｋ 屏 蔽 筒 涂装处理层面如果脱落了，辐射的 热量被反射，增加15 K挡板的负载。 熱輻射 如果表面污染了将吸收辐射出来的热量，使温度上升成为可能 輻射熱 １５Ｋ 挡 板 再生品 污染的冷凝板 交換が必要な理由 活塞部分 从气缸中取出 确认污染程度 一段密封件 因为磨损受 污染 二段密封件 因为磨损受 污染 气缸内部的污染 ディスプレーサーの汚れ 传动组件 没有更换部品 阀体组件 更换部品：特殊O型圈 　　　　　　　Cａｐ密封件 驱动Ａｓｓｙ 交換部品：驱动轴套 驱动阀轴套*２個 马达 交換部品：马达轴套*２個 驱动组件的分解图 クロスヘッド交換部品 バルブハウジング部 特殊型圈到 污染，颜色 变黑 Ｃａｐシール押さえ??? を外す。 Cａｐシールの 汚れが確認で きる バルブハウジング 新品と使用品シールキット比較 新的密封件套装 使用12000小时以上的密 封件 交換部品一覧 　 交換：○交換　△対応可能　×対応不可 ※O/Hでは、○のみ交換 冷冻机保养内容 冷冻机的分解 清洗 组立（密封件，轴套的更换） 对已经内 部污染和 磨损的密 封件，轴套 进行更换 氦气的置换.精制 推奨Ｏ／Ｈ時間：１２０００ｈ シール/ベアリング ベアリング交換 ベアリング交換 清掃 シール交換 清掃 ディスプレーサー交換 活塞销:销子两端的耐磨层磨损变薄后需要更换 中字架铜套:磨损较大松动时需要更换