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 ESD Control ESD控制 ESD控制 离子化 对绝缘材料接地并不能消除所带的静电，要消除所带的静电需要使用离子风机。离子风机的作用是在局部形成离子平衡的环境，它产生的离子可以在较短的时间内中和目标物体上多余的电荷。 风扇很脏不但有Contamination 的问题，影响离子产生，同时由于有大量 Particle 存在，反而会带来ESD 问题。--应定期（每周）用IPA对风扇和发射针进行清洁。（工程部/设施部执行，QA核查） 有维护标签，一要定期对风机校准，二要定期进行清洁维护。 指示灯亮（表示在工作）,应打到60%最大风速。 高度18-24 Inch 产品区域 Page 20  ESD Control ESD控制 ESD控制应该做到 1） 在ESD安全的工位处理对ESD敏感产品。 2） 在处理对ESD敏感产品之前戴上腕带，防静电手套。 3） 对所有金属设备和工具进行接地处理。 4） 让ESD敏感产品与绝缘材料最少保持12英寸（约30公分）的距离。 （如果对产品进行了保护如：产品放在ESD包内，放在 盖上盖子的ESD 安全 物料盒内；如果对绝缘材料进行了屏蔽或使用了离子风机，ESD敏感产品与 绝缘材料之间不受这个距离的限制。） 5） 总是保持工作区域干净整洁，拿走不必要的物料，特别是拿走不是生产必需 的普通塑料制品，纸制品及个人物品。 6） 对ESD敏感产品可能接触的设备部件， 测量设备接地，确保牢固有效安全。 7） 不要用金属物体接触对ESD敏感产品的暴露的输入电路，减少对ESD敏感产 品不必要的接触。 8） 服从ESD敏感区域，ESD安全纪律要求。 9） 如果你对ESD有不清楚的可以联系本地ESD控制部门。 Page 21 ESD Control ESD Control ESD Control ESD Control ESD Control ESD Control ESD Control ESD Control ESD Control ESD Control ESD Control 日期：2017年4月24日  静电对IC造成的击伤 ESD Basic Knowledge ESD基础知识 Page 1  静电的概念 ESD Basic Knowledge ESD基础知识 静电就是静止的电荷，就是物体表面有多余 的电荷（正电荷或负电荷）存在。 静电产生有三种方法： 摩擦 相接触的两个物体发生分离 静电感应产生静电 Page 2  静电产生的物理解释 结果：带正的静电荷 结果：带负的静电荷 相接触的两个物体发生分离 ESD Basic Knowledge ESD基础知识 Page 3  ESD Basic Knowledge ESD基础知识 什么是ESD？ ESD 就是静 电 泄 放 （Electronic Static Discharge） 带有静电的物体靠近或接触另一物体，只要它们之间存在电势差，就会发生静电荷传递。这种静电荷传递过程我们称之为静电泄放。当这种静电荷传递的过程强度足够大，大到可以损坏我们的产品，我们就称之为ESD事件。 Page 4  任何物体都可以产生静电 ！ Everything can be come Charged ！ ESD Basic Knowledge ESD基础知识 什么物体可以产生静电 ？ 在我们的工作区域所有物体都可以产生静电! 手推车，椅子，机械手，粘胶带，周转箱和其它物料输送物品 人体，手套，净化室用抹布，净化室用太空服，普通衣服 工作台表面，CRT电脑显示器，手动工具，纸，笔记本，文件夹，笔 墙壁，地板，酒精瓶， ESD 包装，非ESD 包装 等等都可以产生静电。 Page 5  ESD Basic Knowledge ESD基础知识 什么样的材料是防静电材料？ 对于电子产品生产，表面电阻小于1x109Ohms 的材料是理想的ESD材料。 3. Insulator 绝缘材料 2. Dissipative 静电消耗材料 Conductive 导体材料 105 Ohms / 1011 Ohms / 1 产生静电少 2 静电可以通过接地消除 （但消除速度很快） 3 可以接收的ESD材料 1 产生静电较少 2 静电可以通过接地消除 （消除速度适中） 3 理想的ES