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- | 2016-08-29 颁布
- | 2017-03-01 实施
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GB╱T 32815-2016 硅基MEMS制造技术体硅压阻加工工艺规范.pdf
ICS31.200
L55
中华人 民共和 国国家标准
/ —
GBT32815 2016
硅基MEMS制造技术
体硅压阻加工工艺规范
Silicon-basedMEMSfabricationtechnolo —
gy
Secificationforcriterionofthebulksilicon iezoresistance rocess
p p p
2016-08-29发布 2017-03-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发 布
中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会
/ —
GBT32815 2016
目 次
前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ
1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1
2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1
3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1
4 工艺流程 ………………………………………………………………………………………………… 1
4.1 概述 ………………………………………………………………………………………………… 1
4.2 硅片选择 …………………………………………………………………………………………… 1
4.3 硅片压阻区制备 …………………………………………………………………………………… 1
4.4 硅片隔离区制备 …………………………………………………………………………………… 5
4.5 硅片背腔腐蚀 ……………………………………………………………………………………… 6
硅片引线制备()…………………………………………………………………………………
4.6 G 10
4.7 玻璃片金属电极制备 ……………………………………………………………………………… 12
硅 玻璃键合 ………………………………………………………………………………………
4.8 - 14
4.9 键合片硅面刻蚀 …………………………………………………………………………………… 15
5 工艺保障条件要求……………………………………………………………………………………… 17
5.1 人员要求 …………………………………………………………………………………………… 17
5.2 环境要求 …………………………………………………………………………………………… 17
5.3 设备要求 …………………………………………………………………………………………… 17
6 原材料要求…………………………………………………
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