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寄生式时栅传感器动态测量误差的贝叶斯建模-光学精密工程
第 卷 第 期 光学精密工程
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年 月 旔 旂 旂
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文章编号 棬 棭
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寄生式时栅传感器动态测量误差的贝叶斯建模
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杨洪涛 章刘沙 周 姣 费业泰 彭东林
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安徽理工大学机械工程学院 安徽淮南
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合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 安徽合肥
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重庆理工大学电子信息与自动化学院 重庆
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摘要 为了提高寄生式时栅传感器的测量精度 分析了它的工作原理和动态误差组成 得到其主要误差分量为常值误
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差 周期误差和随机误差等 针对寄生式时栅误差特点 建立了寄生式时栅动态误差高精度预测模型 并与其他建模方
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法进行了比较 选用插入标准值的贝叶斯预测模型 以实际测量的传感器第一个对极动态误差数据进行建模 在后续对
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极特定位置插入部分实际误差测量数据 建立误差预测模型 预测了传感器后 个对极的动态误差 另选用三次样条
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插值和 神经网络建模方法对寄生式时栅整圈动态误差建模 并与建立的误差模型进行了对比 验证实验表明 三次
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样条插值建模时间最短 棸棶椂棽旙 但其建模精度不高 棻椂棶棸椀棸棸曞 贝叶斯动态模型建模时间 棸棶椄椂旙略长于三次样条插
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值 但建模精度最高 棸棶棿棻椀棾曞 斅斝神经网络建模
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