COMSOL MEMS模块培训 利用COMSOL模拟压电效应 piezoelectric.ppt

利用COMSOL模拟压电效应 问题描述 求解过程 1、启动COMSOL 2、选择分析模块 3、创建几何区域 4、设定边界条件 5、求解 6、后处理 启动COMSOL 通过桌面快捷方式或者启动菜单打开COMSOL软件 选择问题 1、通过主程序导航窗口，选择模型 2、选择3D空间，然后在左侧栏目中依次选择 MEMS ModuleStructural MechanicsPiezo SolidStatic analysis MEMS ModuleStructural MechanicsSolid, Stress-StrainStatic analysis 3、点击Ok 确定分析问题 添加坐标系统 1 通过菜单Options Coordinate Systems 2 点击New按钮，点击OK 按钮接受默认设置 3 点击Rotation angle method，在y出输入90 4 点击OK关闭窗口 添加材料模型 1 通过菜单Options Materials/Coefficients Library 2 点击New button输入如下材料参数： 3 在Name右侧方框中输入Foam 4 点击OK关闭窗口 绘制草图 选择左侧工具栏的绘制长方体按钮 依次通过下列参数绘制直线长方体，点击主工具栏的 Zoom extents按钮进行缩放 设定边界条件 1 选择Multiphysics Solid, Stress-Strain (smsld) 2 在主工具栏中选择 3 在Subdomain selection 中选择1和3 4 点击Load 按钮加载材料 5 在Materials list中选择Alumium 6 在Subdomain selection 中选择2和5 7 点击Load 按钮加载材料 8 在Materials list中选择Foam 6 在Subdomain selection 中选择4 10 将Active in this domain前的钩去掉 11 点击OK关闭窗口 设定边界条件 1 选择Physics Boundary Settings 4 在Boundary selection 中选择1、4、7 5 在Boundary condition 列表中选择Fixed 设置边界条件 1 选择Multiphysics Piezo Solid (smpz3d) 2 选择Physics Subdomain Settings 3 在Subdomain selection 列表中选择1、2、3、5 4 将Active in this domain前的钩去掉 5 在Subdomain selection 列表中选择4 5 在Coordinate system 列表中选择Coordinate system 1 6 在Materials list中选择PZT5H 7 点击OK关闭窗口 设置边界条件 1 选择PhysicsBoundary Settings. 2 在 Boundary selection 列表中选择 14 - 19 3 选择Electric BC标签，在 Boundary condition 列表中选择 Zero charge/Symmetry 4 在 Boundary selection 列表中选择16 5 在 Boundary condition 列表中选择Electric potential，在V0右侧方框中输入20 6 在 Boundary selection 列表中选择17 7 在 Boundary condition 列表中选择Ground 8 点击OK关闭窗口 网格划分 1 选择菜单Mesh Free Mesh Parameters 2 点击 Advanced 标签 3 在 z-direction scale factor 中输入 3，点击Remesh 4 OK关闭窗口 求解器设定 1 在主工具栏中点击Solver Parameters按钮 2 在Analysis下拉列表中选择Eigenfrequency 3 点击OK关闭窗口 4 在左侧Model Tree右键点击Geom1Solid, Stress-Strain (smsld) 选择Properties 5 将Analysis type设置为Eigenfrequency，点击OK关闭窗口 6 在主工具栏中点击Solve按钮 结果显示 1 通过菜单Postprocessing Plot Parameters 2 选择General 标签，勾选Boundary，Deformed shape和Geometry edges 3 选择Boundary 标签， 在 Predefined quantities 列表中选择 Piezosolid(