[工作总结]90AProber保养规范.pdf

UF190/UF200 定期保养规范 ACCRETECH PROBER 保养规范 0 前言： 为了确保 ACCRETECH PROBER 的精准度与正常运作，请依据本保养规范，定时完成 所需之定期保养程序，以使 ACCRETECH PROBER 维持在稳定与最佳的生产状态。 ACCRETECH PROBER 所需进行保养与检查的项目，依据各组成元件的不同特性，共 可区分为三大项。 1. 每月保养: 每日保养的目的，主要在于确保 ACCRETECH PROBER 在日常的生产过程中，当有任何 的异状产生时，可以及时发现问题，尽早完成检修，维持机台的生产效能。此项保养应依 据本保养指南每日月实施。 2. 每半年保养: 每半年保养的目的，主要在于维持 ACCRETECH PROBER 各元件的正常运作，以确保 PROBER 于生产时各元件均能发挥其所应具有的功能。此项保养应依据本指南每半年按时 实施。 3. 每年保养: 每年保养的目的，主要在于检测与调整 ACCRETECH PROBER 的机台精准度，以确保 PROBER 于生产过程中，精准度与可靠性皆能维持在设定的标准内。此项保养应依本指南 每年按时实施。 ACCRETECH PROBER 每月保养规范 每月保养纪录与检查项目: ACCRETECH PROBER 每月保养纪录 PROBER 型号: PROBER 序号: 负责工程师: 保养日期: 1.外部供给值 检查项目 检查标准 检查结果 量测值 检 查 项 检查标准 检查结果 量测值 目 电 源 供 给 110V/220V OK/NG 真 空 供 40cmHg OK/NG 值： 给值: 空气供给值: 4kgf OK/NG 2. 检查项目 编号 项目 检查标准 检查结果 量测值 1－1 清洁 CHUCK 表面与 尽可能维持此部位的清净度 OK/NG PROBER 内部空间 1－2 PROBER 完成机械归 确认所有机械归零动作均正常 OK/NG 零动作 无误 1－3 键盘功能 确认键盘功能正常 OK/NG 1－4 荧幕功能 确认荧幕显示功能正常 OK/NG 1－5 列表机功能 确认列表机功能正常 OK/NG 1－6 WAFER 传输功能 确认 WAFER 传输功能正常 OK/NG 1－7 MARK 功能 确认 MARKER 功能正常 OK/NG 1－1 清洁 CHUCK 表面与 CHUCK 附近的作业区域 当有必要对 CHUCK 进行清洁工作时，请格外注意以免刮伤 CHUCK 表面。