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氢等离子体处理对ZnO光电性质的影响-物理试验杂志
第 卷 第 期 物 理 实 验 ．３４ Ｎｏ．１１
３４ １１ Ｖｏｌ
年 月 ＰＨＹ ，
ＳＩＣＳＥＸＰＥＲＩＭＥＮＴＡＴＩＯＮ
Ｎｏｖ． ０１
０１４ １１ ４
２ ２
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氢等离子体处理对ＺｎＯ光电性质的影响
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董敬敬 杨 坤 付康 宁
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中国地质 大学 北京 数理学院 地球物理与信息技术学院 北京
ａ． ｂ． １０００８３
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摘 要 借助于霍尔效应 拉曼散射 光致发光及电致发光测试技术 研究了氢等离子体处理以及随后的高温退火过
程对 薄 ： ，
Ｚ 膜及 纳米棒光学及电学性质的影响 实验结果表明 氢在 薄膜中不仅充当浅施主 而且还可以钝
ｎＯ ｎＯ ． ＺｎＯ
Ｚ
， ， ，
化晶界处缺陷相关的非辐射复合中心 从而使得载流子浓度及迁移率增大 近带边紫外发光增强 然而 钝化晶界的氢
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