多晶浇铸炉停水停电紧急处理.doc

多晶浇铸炉停水情况的紧急处理 （1） 主管路无水流压力，产生这种情况的最大可能原因是外围设施发生错误，导致整条生产线同时停水，表现在设备上的症状为多台DSS系统同时发出警报。 解决方法：严格按照水循环系统的操作规程进行操作。二十四小时岗位不离人！ （2） DSS 系统8路水路中，由于水质等原因引起的某一路或几路水管通水不畅，而导致DSS系统水流警报。 解决办法：若报警界面水流栏中出现黄色报警。 若出现红色报警，即出水流量计不能感应水流，则需要在很短的时间内找到水流停滞的原因，并且做出相关工艺调整。具体做法如下： 1）点击SILENCE ALARM 消除警报声，其他工作人员迅速找到水流停滞管，并利用相关工具尽块恢复通水。 2）20 秒后加热器接触器自动断开（最理想的做法是在20 秒找到原因并解决问题），出现如下界面： 迅速记录LOST POWER AT 的数值。水流通畅后点击屏幕上PS CONTACT使接触器合上，显示绿色为已经合上状态。 3）点击屏幕下方的Real Value 如图 备注：水停后引起PS CONTACTOR 断开时间不能太长，一般不能超过一分种。 加热阶段 限制15 分钟 熔料阶段 限制下降120℃ 长晶阶段 限制下降50℃ 退火阶段 限制下降120℃ 冷却阶段 OK DSS炉断水或水流低时，班组长都应立即启动应急方案。 以下分别阐述： 一、水流量下降或单回路水流量低（或断水）情况 1．DSS操作工发现全部回路水流量有下降趋势时，需立即向班组长汇报，班组长需立即向外围设备部门反映（通过对讲机、电话）。 2．某回路水流量低或断水时，一般是设备本身问题（如水流计损坏）。 应急措施如下： 1）该机台操作工立即招呼离应急抢救工具或备件（如T形扳手和水流计叶轮）最近的人员准备好应急抢救工具或备件。 2）该机台操作工需在机台前密切注意电脑参数变化并做出反应，并招呼熟练人员参与抢险。 3）就近机台操作工立即报告班班组长和现场车间领导。 二、全部回路水流量低或全部回路断冷冻水低时，这表明外围冷冻水系统出现故障。应急措施如下： 由离对电话最近的操作工通知外围冷却系统（班值班电话：3685313）。 由离大门最近的操作工立即开启应急水总阀（在二期单晶地下室35号炉下，每个班组有一个专门的人员操作）。 班组长暂时没在现场时，操作工需立即向班组长或上级领导汇报情况（汇报人由组长平时指定好）。 应急水用完冷冻水仍未恢复时，需进入应急冷却（操作在下面描述）。 当4台增压水泵中一台出现问题时，迅速降损坏水泵旁的蝶形阀门打开。 以下为处理断水或水流量低的技术要点： 各机台或故障机台操作工坚守自己的岗位，密切关注好炉子的水流、压力、温度变化情况，以及由于断水超过20秒后而造成： 1．断电弹出掉电报警窗口，记住，功率百分比LOST POWER AT %。 2．等待WATER FLOW CONTACTOR 显示绿色后证明水流正常。 3．点击PS CONTACTOR 后显绿色，关闭屏幕，进入REAL VALUE 窗口。 4．1）如果是功率P控制模式，输入掉电时功率的百分比使温度达到掉电时的温度； 2）如果是T控制模式应把T改成P，输入掉电时功率百分比大于5%~10%； 3）使温度达到掉电时温度后，再把P改为T，在输入功率时应在暂停PAUSE模式下。另外在等待温度恢复时，应确保压力情况，如果在600mbar时气体模式下，千万要确认不能改成真空状态V模式下，并且输入与RECIPE对应INLET 值（如 55%或是40%或是20%等等），如果是温度下降值超过主参数时，程序会自动终止，进入E—COOL不用担心，只要密切关注水流情况。 水进入DSS炉时，水压值又比较低，在ALARM窗口，F1~F8会显黄色，不会弹出掉电窗口，只是每隔30秒会重复报警。水压太低时间又太长，可终止运行，但必须接到班长以上人员的指令才可执行。终止运行时应进入MODES窗口，点击PAUSE会弹ABORT AUTO按钮，点击该按钮后，会自动进入E—COOL程序，你只要密切关注炉子的压力，水流、TC1温度变化，V2、V3阀打开，隔热笼位置等（从OVERVIEW画面可看到）。 切记在终止运行时要尽量不要按EMERGENCY—STOP按钮（即电脑最右上角按钮），因为按EMERGENCY—STOP时，屏幕没有参数实际值，如：水流值为零，并显示红色，压力值也为零，隔热笼位置也为零，这样会造成一种假象，显示进入E—COOL也是假的，隔热笼提升马达、V2、V3阀真空泵等全部关闭未工作。 以下为处理断水或水流量低的日常准备工作： 让所有DSS操作工了解应急水总阀的位置及其操作。 让所有DSS操作工了解应急抢救工具或备件的位置及其使用方法，并确认应急抢救工具或备件是可用