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微平移位移台-PhysikInstrumente
微平移位移台
带直接位置测量的紧凑型线性平台
M-122.2DD1
行程25毫米
Integrierter Linearencoder für höchste
Genauigkeit带0.1微米分辨率
最小位移0.2微米
最大速度20毫米/秒
滚珠丝杠可实现高速和高循环次数
采用增量编码器实现直接位置测量
非接触式光学编码器以极高的精度直接在运动平台上测量实际位置，因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位
置测量造成影响。
应用领域
光学对准，精密自动化。
15.01.2018
规格
M-122.2DD1 单位 公差
运动和定位
行程 25 毫米
集成传感器 线性编码器
传感器分辨率 0.1 微米
设计分辨率 0.1 微米 典型值
最小位移 0.2 微米 典型值
空回 0.2 微米 典型值
单向重复精度 0.15 微米 典型值
螺距 ±150 微弧度 典型值
偏转角 ±150 微弧度 典型值
速度 20 毫米/秒 最大
参考点开关重复性 1 微米 典型值
机械特性
传动螺杆 滚珠丝杠
运动方向上的刚性 0.25 牛/微米
负载容量 50 牛 最大
推拉力 20
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