纳米定位系统动态误差灰色模型补偿方法研究-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １４ １ 　 Ｖｏｌ．１４ Ｎｏ．１ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００６ ２ Ｆｅｂ．２００６ 　　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００６０１００８９０６ 　 纳米定位系统动态误差灰色模型补偿方法研究 李鸣鸣，龚振邦，程维明，孙麟治 （上海大学 精密机械研究所，上海 ２０００７２） 摘要：对等步距多工位工作的纳米工作台，采用灰色模型能够同时对定位误差中的系统误差和随机误差进行动态补偿。 讨论了提高灰色模型精度的方法，建立了改进背景值的等维新息 （，）灰色预测模型。用 步距定位误差进行 ＧＭ １１ ５ ｍ μ 了一步预测分析，结果表明该模型具有较高的预测精度； 和 步距的定位误差预测补偿实验表明，工作台的定 ５ ｍ ３ ｍ μ μ 位误差可以控制在 ４０ｎｍ以内。实验证明了灰色预测模型用于纳米定位系统动态补偿的有效性，且需要的建模数据很 少、计算量小，适用于具有时变特征的精密定位系统。 关 键 词：纳米定位；定位误差；灰色模型；预测；动态补偿 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＨ７０３ Ａ 　　 犚犲狊犲犪狉犮犺狅犳犱狀犪犿犻犮犲狉狉狅狉犮狅犿 犲狀狊犪狋犻狅狀犳狅狉狀犪狀狅狅狊犻狋犻狅狀犻狀 狔 狆 狆 犵 狊狊狋犲犿犫犪狊犲犱狅狀 狉犲犿狅犱犲犾 狔 犵 狔 ， ， ， ＬＩＭｉｎｍｉｎ ＧＯＮＧＺｈｅｎｂａｎ ＣＨＥＮＧＷｅｉｍｉｎ ＳＵＮＬｉｎｚｈｉ ｇ ｇ ｇ ｇ （ ， ， ） 犘狉犲犮犻狊犻狅狀犕犪犮犺犻狀犲狉 犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犛犺犪狀犺犪犻犝狀犻狏犲狉狊犻狋 犛犺犪狀犺犪犻２０００７２ 犆犺犻狀犪 狔 犳 犵 狔 犵 ： ， 犃犫狊狋狉犪犮狋Ｆｏｒａｎａｎｏｓｔａｅｗｏｒｋｅｄｉ