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任务三 使用激光干涉仪检测数控机床直线滚动导轨的平行度 一、水平平面内直线滚动导轨平行度的测量原理 线性平行度是用来确定两个平行的坐标轴之间的偏差。 应用激光干涉仪进行平行度测量的原理是用一个公用的直线度数据,得出两个平行轴的平行度数据。 图4-56所示为测量轴1 水平方向的直线度布局;图4-57所示为测量轴2水平方向的直线度布局。 注意在测量轴2水平方向的直线度时,一定要确保直线度反射镜固定不动,并不做任何调整,以此作为两次测量的基准。 图4-56 轴1在水平方向直线度测量布局俯视图 图4-57 轴2在水平方向直线度测量布局俯视图 二、应用激光干涉仪测量十字滑台线性导轨平行度 1.光学元件的固定与安装(表4-15) 表4-15 光学元件的固定与安装步骤 序号 安装步骤 图示 1 直线度干涉镜到安装在固定块上 2 磁力表座安装在轴1导轨的滑块上 3 将直线度干涉镜安装到磁力表座上 表4-15 光学元件的固定与安装步骤 序号 安装步骤 图示 4 在十字滑台上安装固定直线度反射镜的磁力表座 5 安装直线度反射镜 6 轴1在水平方向直线度测量布局 2.光路的准直 (1)准直直线度干涉镜,在轴1整个行程上移动滑块,使激光光束始终能打在光靶的中心。 (2)直线度反射镜的调整,在轴1整个行程上移滑块动,使反射镜的返回光始终能通过直线度干涉镜回光孔,最终回到激光光闸回光孔。 (3)用人工去除斜率误差的方法来进一步精密调准激光光束。 (4)误差数值的正方向设定,如图4-58,测量时直线度干涉镜从靠近反射镜的一端向激光头一端移动,直线度误差值的正方向向右。当测量轴2的水平方向直线度时,误差数值的正方向设定应与轴1的正方向设定一致。 图4-58 误差数值的正方向设定 3.数据采集 根据直线滚动导轨的长度,决定测量长度为400 mm ,测量间隔为50 mm 。然后完成测量软件的定义 按照软件设定的要求,并按规定的方向移动滑块,手动采集数据,直至所有点。点击完成。将数据文件另存为“轴1.stx ” 4. 重复1到3的步骤,完成轴2的水平方向直线度的测量,注意使用相同的误差数值的正方向设定。数据文件为“轴2.stx ” 5.数据分析,见表4-16 表4-16 十字滑台线性导轨平行度数据分析 序号 测量软件的使用方法 图示 1 打开“短距离直线度测量”软件,见图再点击“分析数据”,进入下一步的界面 2 点击“打开”,找到轴1水平方向直线度数据文件“轴1.stx” 3 点击“分析数据”,再点击“线性平行度” 4 点击 File2的“改变”,将文件“轴2.stx”添加进去 5 测量软件将自动给出两个轴的数据图表和平行度数据。两个直线度图形是由最小二乘法数据拟合所得到的。平行度数据的正负符号取决于打开两个文件的顺序 6 放大看两个平行轴的平行度数据 实训任务 1.应用激光干涉仪检测数控车床Z轴水平方向的直线度 (1)列出所用的光学元件名称及作用(表4-17) 序号 元件名称 作用 1 ? ? 2 ? ? 3 ? ? 4 ? ? (2)填写测量步骤表格(表4-18) 序号 步骤名称 操作内容 1 ? ? 2 ? ? 3 ? ? 4 ? ? 5 ? ? 6 ? ? 7 ? ? 2.应用激光干涉仪检测数控车床Z轴垂直方向的直线度 (1)列出所用的光学元件及作用(表4-19) 序号 元件名称 作用 1 ? ? 2 ? ? 3 ? ? 4 ? ? (2)填写测量步骤表格(表4-20) 序号 步骤名称 操作内容 1 ? ? 2 ? ? 3 ? ? 4 ? ? 5 ? ? 6 ? ? 7 ? ? 3.应用激光干涉仪检测立式加工中心Z轴X-Z平面内的直线度 (1)列出所用的光学元件及作用(表4-21) 序号 元件名称 作用 1 ? ? 2 ? ? 3 ? ? 4 ? ? 5 ? ? 6 ? ? (2)填写测量步骤表格(表4-22) 序号 步骤名称 操作内容 1 ? ? 2 ? ? 3 ? ? 4 ? ? 5 ? ? 6 ? ? 7 ? ? 4.应用激光干涉仪测量立式加工中心X轴与Z轴的垂直度 (1)列出所用的光学元件及作用(表4-23) 序号 元件名称 作用 1 ? ? 2 ? ? 3 ? ? 4 ? ? 5 ? ? 6 ? ? 7 ? ? (2)填写测量步骤表格(表4-24) 序号 步骤名称 操作内容 一、测量加工中心Z轴X轴线方向直线度误差 1 ? ? 2 ? ? 3 ? ? 4 ? ? 5 ? ? 6 ? ? 二、测量加工中心X轴垂直方向直线度误差 7 ? ? 三、垂直度数据分析 8 ? ? 5.应用激

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