小型非球面轮廓测量仪的原理及应用-光学精密工程.PDFVIP

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2018-08-18 发布于天津
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小型非球面轮廓测量仪的原理及应用-光学精密工程.PDF

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小型非球面轮廓测量仪的原理及应用-光学精密工程

11 6 V ol. 11 N o . 6 2003 12 Opt ics and Precision Engineer ing D ec. 2003 1004924X( 200 3) 0606 1205 倪颖余景池郭培基丁泽钊 ( 苏州大学现代光学技术研究所江苏苏州2 1500 6) : F LYI 1~ 2 m L OH 1 2 2 m L OH 1 2 2 m : 轮廓仪; 非球面加工 : T H74 1. 3 : A Principle and application of miniature aspheric surface profilometer N I Y ing Y U Jingchi GU O Peiji D IN G Zezh ao ( Moder n Op tical Technology Institute, Suz hou University, Suzhou 215006, China) Abstract : A miniat ure aspheric surface profilomet er w it h a u sable accuracy of 1~ 2 m w as designed and as sembled to compen sat e the L OH SPHERO MAT IC 50SL in our lab to en sure the grinding precision of op t ics. Experiment s and analyses proved t hat t he miniat ure aspheric surface prof ilometer m eet s t he test ing re qu irements of laboratory and opt ical shop for surface finishing and it is suit able for final test ing of opt ical elements w it h medium and low accuracy requ irem ent s. Key words: profilom et er; aspheric processing 1 引言 CO2 [ 13]