水靶激光等离子体光源1120状犿波段光谱试验-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １３ ３ 　 Ｖｏｌ．１３ Ｎｏ．３ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００５ ６ Ｊｕｎ．２００５ 　　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００５０３０２７２０４ 　 水靶激光等离子体光源１１ ２０狀犿波段光谱实验 ～ ， ， １２ １２ ３ １ 齐立红 ，李忠芳 ，尼启良 ，陈 波 　 （ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春 ； １． １３００３３ 中国科学院研究生院，北京 ； 吉林大学原子与分子物理研究所，吉林 长春 ） ２． １０００３９３． １３００２６ 摘要：实验以水为靶材， ： 激光器为照射激光构成激光等离子体光源，产生软 射线 极紫外辐 ＮｄＹＡＧ Ｘ  射。利用 型掠入射软 射线 真空紫外单色仪、 硅光电二极管，测量了 ＭｃＰＨＥＲＳＯＮ２４７ Ｘ  ＡＸＵＶ１００ １１ ２０ｎｍ波段水靶激光等离子体光源的光谱。实验表明，在 １１ ２０ｎｍ波段水靶激光等离子体光源存 ～ ～ 在多条线谱，均由水中氧离子电子跃迁产生。所用单色仪光谱分辨率 Δλ≤０．０７５ｎｍ，波长扫描间隔 ０．５ｎｍ。另外，采用在喷嘴处加热的办法，很好地解决了水进入真空系统后绝热膨胀与蒸发过程中温 度骤降而结冰的问题，有效地抑制了喷射距离缩短，克服了等离子体对喷嘴腐蚀严重的问题。 关 键 词：激光等离子体光源；光谱测量；软 射线；水靶 Ｘ 　 　 中图分类号： 文献标识码： Ｏ４３３．１ Ａ 　　 犈狓犲狉犻犿犲狀狋犪犾狊狋狌犱 狅犳狋犺犲狊犲犮狋狉狌犿犪狋１１ ２０狀犿狅犳犪 狆 狔 狆 ～ 犾犪狊犲狉狉狅犱狌犮犲犱 犾犪狊犿犪狊狅狌狉犮犲狌狊犻狀