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尚辅网 / 第5章 压电式传感器 主要内容 5.1 工作原理 5.2 压电式传感器测量电路 5.3 压电式传感器的应用 学习导航 知识单元与知识点 压电效应、正压电效应、逆压电效应的基本概念; 压电材料的分类及其特性; 压电式传感器的等效电路、电荷放大器与电压放大器的测量电路; 压电元件的连接特性; 压电式传感器的应用。 能力点 深入理解压电效应、正压电效应、逆压电效应的基本概念; 理解压电式传感器的等效电路、电荷放大器与电压放大器的测量电路; 了解压电材料的分类及其特性; 会分析压电元件的连接特性; 了解压电式传感器的应用。 重难点 重点:压电式传感器的工作原理、测量电路。 难点:压电式传感器的测量电路。 学习要求 掌握压电效应、正压电效应、逆压电效应的含义; 掌握石英晶体具有压电效应特性的分子结构特性、压电陶瓷的压电特性机理;了解压电材料的主要特性参数及其含义、压电材料的选取; 掌握压电式传感器的等效电路与测量电路; 掌握压电元件并联或串联特性; 了解压电式传感器的典型应用。 5.1 工作原理 (正)压电效应:是对某些电介质沿一定方向施以外力使其变形时,其内部将产生极化而使其表面出现电荷集聚的现象。在外力去除后又重新恢复到不带电状态,是机械能转变为电能。 逆压电效应(电致伸缩):当在片状压电材料的两个电极面上加交流电压,将导致压电片产生机械振动(在电极方向上产生伸缩变形) 可见:压电效应具有可逆性 特点: 结构简单、体积小、重量轻; 工作频带宽;灵敏度高;信噪比高; 工作可靠;测量范围广等。 用途: 主要用于与力相关的动态参数测试,如动态力、机械冲击、振动等,它可以把加速度、压力、位移、温度等许多非电量转换为电量。 5.1.1 压电效应 5.1.2 压电材料 X轴向受力: Y轴向受力: Z轴向受力: 无 石英晶体(单晶体) 现象: 机理: 压电陶瓷(多晶体) 压电机理: 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴,它有一定的极化方向,从而存在电场。 在无外电场作用时,电畴在晶体中杂乱分布,它们各自的极化效应被相互抵消,压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性,不具有压电性质。 在陶瓷上施加外电场时,电畴的极化方向发生转动,趋向于按外电场方向的排列,从而使材料得到极化。外电场愈强, 就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度,即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时,当外电场去掉后,电畴的极化方向基本变化,即剩余极化强度很大,这时的材料才具有压电特性。 具有剩余极化的压电陶瓷材料受到外力作用时,将在垂直于极化方向的平面上出现电荷集聚的变化,产生由机械能转变为电能的正压电效应。 集聚的电荷量的大小与外力成正比关系: 式中: d33—— 压电陶瓷的压电系数; F——作用力。 压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多,所以采用压电陶瓷制作的压电式传感器的灵敏度较高。极化处理后的压电陶瓷材料的剩余极化强度和特性与温度有关,它的参数也随时间变化, 从而使其压电特性减弱。 压电材料的特性参数 压电系数:衡量压电效应强弱(灵敏度) 弹性系数:决定固有角频率(动态特性) 介电常数:影响固有电容(频率下限) 机电耦合系数:用于衡量能量转换效率 电阻:减少电荷泄漏(改善压电式传感器的低频特性) 居里点:开始失去压电特性的温度 压电材料的选取 选用合适的压电材料是设计、制作高性能传感器的关键。一般应考虑: 转换性能:高耦合系数、大压电系数 机械性能:机械强度高 电性能:高电阻率、大介电常数,减弱外部分布电容的影响 温度、湿度稳定性好:宽的温湿度工作范围 时间稳定性:压电特性不随时间褪化 比较石英晶体、钛酸钡、PZT系 石英是较好的单晶体类压电材料,除了压电系数不大外,其他特性都具有显著优越性:居里点573℃,压电系数的温度系数小,弹性系数较大,机械强度高。主要用于测量大量值的力或加速度或作为标准传感器使用 钛酸钡(BaTiO3):较好的多晶体陶瓷类压电材料,突出的特点:压电系数比石英大几十倍,但居里点温度在120℃左右,使用温度不超过70℃,温度稳定性和机械强度都不如石英。较其他压电陶瓷更容易极化。 目前使用较多的压电陶瓷材料是锆钛酸铅(PZT)系列, 它是钛酸铅(PbTiO2)和锆酸铅(PbZrO3)组成的(Pb(ZrTi)O3)。居里点在300℃左右,工作温度较高,性能稳定,有较高的介电常数和压电系数。但较难极化。 5.2 测量电路 压电式传感器的测量电路 压电式传感器本身的内阻抗很高(1
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