超薄ITO透明导电膜应用在触控面板之研究ReliabilityandStabilityin....PDF

超薄 ITO 透明導電膜應用在觸控面板之研究 Reliability and Stability in Electrical Properties of Ultra-thin ITO for Touch Panel Application 摘要摘要 摘要摘要 本文使用直流磁控濺鍍在玻璃基板表面沉積ITO透明導電膜，研究超薄的 ITO膜厚 2nm到100nm的電阻率 、穿透率、微觀結構、表面粗糙度等薄膜特性， 以及探討在觸控面板上的環境耐久性與ITO鍍膜製程的關係 。 氧化銦錫(ITO)在可見光區擁有高穿透率以及低電阻率的透明導電膜 ，通常 應用在平面顯示器的電阻率約2E-4Ωcm 。但是應用在觸控面板的透明導電膜需 要較高的電阻率(常見的面阻抗約300 ~1000Ω) ，為了得到較 高的面電阻 ，透明 導電膜的膜厚需要變得很薄 ，而膜厚太薄的薄膜會產生許多問題 ，包括電性的不 穩定 、面阻抗的不均勻、環境測試能力變差 ，本論文即要探討研究此改善方向， 先針對ITO膜厚對於其結構與光電特性之研究 ，並且透過調整反應氣體O2的含量 以及濺鍍功率密度來改善ITO薄膜特性 ，以符合觸控面板的透明導電膜之要求。 實驗結果可知 ，ITO薄膜在膜厚為8nm 、濺鍍功率密度為0.38 w/cm2 、氧氣 含量2.6% ，可達到穿透率大於91% ，面阻抗值為500Ω/□之ITO導電玻璃 ，並可 符合觸控面板所要求的耐高溫測驗(160℃，30分鐘) 、恆溫恆濕測驗(60℃，90% 相對濕度 ，240小時) 、以及耐鹼測驗(NaOH 5% ，10分鐘) 。 I Abstract This study uses DC magnetron sputtering to deposit indium tin oxide(ITO) thin film on a soda-lime glass surface to study thin-film properties of an ultra-thin ITO that have a thin-film thickness of 2nm-100nm,Resistivity, transmittance, thin-film structure morphology and surface roughness were determined. This study also examines the relationship between ITO coating processes and reliability testing. Indium tin oxide is a transparent conducting thin film that has a highly visible transmission and low resistivity. In Flat Panel Display applications, ITO resistivity is typically 2E-4Ωcm. However, in the touch panel applications, the transparent conductivity oxide (TCO) film requires high resistivity (sheet resistance is approximately 300-1000Ω). To increase sheet resistance, the TCO film should be thin; however, this has many disadvantages, including unstable electrical properties, non-un