附录试验室安全卫生守则.PDF

附錄 實驗室安全衛生守則 取材自國家毫微米元件實驗室 (NDL) 第一章 實驗室一般守則 1.1 潔淨室工作守則 1.2 儀器設備使用規則 第二章 實驗室安全守則 2.1 一般守則及防護設備 2.2 化學品之使用，儲存及安全 2.3 壓縮氣瓶及危險氣體之操作 2.4 火災之預防與搶救 2.5 輻射及電氣作業安全注意事項 2.6 急救與搶救 附錄 A 不相容化學物一覽表(1) 附錄 A 不相容化學物一覽表(2) 附錄 B 半導體製造常用酸液特性表 附錄 C 半導體製造常用有機溶劑特性表 附錄 D 半導體製造用氣體特性表 第一章 實驗室一般守則 1.1 潔淨室工作守則 1.進入實驗室人員資格 a. 具下列資格且經訓練合格及主管核可後之人員得進入潔淨室： （1） NDL及半導體中心研究員及相關教授。 （2 ） NDL及半導體中心技術人員及工作人員。 （3 ） 領有有識別證之學生及其他他研究單位之研究人員、工作人員。 b. 進入實驗室人員需遵守實驗室之安全規定及國家安全衛生法令。 c. 尚未被認可之學生、外賓及承攬商須進入潔淨室者，應先報備申請領取臨 時證配於胸前，並應有合格人員陪同在場始得進入。 d. 嚴禁轉借他人之 Card Key或夾帶未經核准人員進入潔淨室。 e. 凡違反上述規定者將予以短期或永久禁止進入本實驗室之懲處。 2.進入潔淨室前之注意事項： a. 學生、外賓及承攬商進入及離開實驗室 ，需於大廳櫃檯做出入實驗室登記。 b. 任何人進入潔淨室工作或參觀，須依規定換穿無塵衣，並於胸前懸掛核可 之識別證。 c. 非經實驗室主管許可不得將私人物品（手提袋、書籍等）及非潔淨室所使 用之工具攜入潔淨室；維修用之手冊及工具在用畢後應立即收起。 d. 原物料進潔淨室時，需先在外面拆箱及拭淨，並置於緩衝區 30 分鐘方得攜 入潔淨室。 e. 實驗室、辦公區均為禁煙區，若有吸煙，須於抽後 30 分鐘並嗽口後，方可 進入潔淨室。 f. 劇烈運動後絕對禁止立刻進入潔淨室，須待呼吸平穩不再流汗後方可進入 潔淨室。 g. 在潔淨室內，不得飲食、嘻鬧，或從事其它與實驗室無關的事情。 h. 進入潔淨室者應保持身體潔淨，頭髮應常梳洗，並禁止使用香水及化 1.2 儀器設備使用規則 a. 所有儀器設備均應依手冊規定之步驟開機及關機。 b. 使用儀器之前應詳加考慮所作之實驗是否會造成污染或危險，若有不確定 之處應請教儀器之負責技術員或研究員。 c. 實驗室所定之儀器設定狀況非經特殊之申請許可不得任意改變原有之設 定。 d. 儀器使用狀況及使用時實驗室內的溫濕度請詳加紀錄。 e. 凡儀器操作不當以至造成污染或損壞應儘速報告並接受懲處，若有故意隱 瞞一經查獲將加重處分。 f. 儀器使用完畢應依規定加以清潔。 g. 未經核准前，不得自行操作實驗室內之儀器設備，違者嚴懲。 第二章 實驗室安全守則 2.1 一般守則及防護設備 1.一般守則 在安全防護上是幾乎不可能訂出一套守則可涵蓋所有可能在實驗室發生之危險 狀況，因此僅列舉一些一般性的守則以供參考，以減少在實驗室工作之危險！請 使用者務必遵守。 a. 在實驗室工作時必須確切地了解每一個動作可能發生的危險及應採取之安全 防護工作。 b. 善加使用一些防護設備如眼鏡、手套等等。 c. 有毒物質一定要在 fume hood中操作。 d. 隱形眼鏡可能會讓化學品附著以致傷害眼睛，因此不要使用。 e. 在工作的區域應保持清潔。 f. 所有化學品應詳加標示。 g. 使用化學品後雙手需洗淨方能飲食或抽煙。 h. 處理廢棄物時應遵守有關廢棄物處理之規定。 i. 熟悉緊急應變的步驟及工作區域之緊急應變設備（如滅火器，逃生呼吸器等） 之放置位置。 j. 實驗室之同一房間，不管任何時間必須要有至少兩人在其中作實驗或協助之。 2. 防護設備 實驗室最常見之防護設備為 fume hood ，因此在使用fume hood時需注意以下幾 點： a. 工作時 fume hood 上的防護璃罩須拉下至適當的位置。