电池制造宣传(新）.ppt

太阳电池的制造过程 制绒 测试 DSP背场 PECVD DSP背极 去PSG DSP正极 扩散 制绒 制绒—太阳电池是要吸收太阳光来工作的，平整的硅片表面对光的反射率很高，而降低这种反射最直接的方法就是把“光滑”的表面变得“粗糙”。 通过化学处理单元，用NaOH和硅片反应，在表面形成绒面层。 制绒 化学处理单元 SCHMID TEXTURE 扩散 扩散—太阳电池要发电就必须有pn结，扩散就是在p型基片上扩散形成一层n型层，从而得到pn结。 扩散炉的作用是，使通入的磷源在高温条件下扩散到硅片表面，形成n型扩散层。 扩散 扩散炉 CT 48所扩散炉 SECOMO 扩散炉 去PSG 去PSG就是去磷、硅玻璃—去掉在扩散过程中硅片表面形成的磷硅化合物。 HF酸可以去掉硅片表面生成的磷硅化合物。 刻蚀、去PSG 刻蚀机 SC PSG AR Coating AR Coating—用来沉积氮化硅减反射膜，减反膜是一层厚度与光波波长同等程度的薄膜 ，涂敷在元件表面可以消除或减弱反射光的目的。 PECVD是在高温真空条件下，高压电离NH3和SiH4，在硅片表面生成一层SiN膜。 AR Coating PECVD RATH@RUN SEMCO DSP印刷烧结 印刷烧结—利用丝网印刷将金属浆料印刷到电池两极，再通过高温处理使电极和硅片形成良好欧姆接触。 丝印机是把金属浆料印刷到硅片正反两面，并通过高温烧结炉，使金属浆料和硅片形成合金，即电池的正负极。 丝网印刷机和烧结炉 J I 激光刻蚀 由于扩散过程中，整个周边也被扩散了，周围会形成短路，为了去掉周边的短路，激光刻蚀可以很好的把周边一层短路给去掉。 激光刻蚀 测试 可以有效测试出高效的太阳能电池参数，如开路电压，短路电流，并联电阻，串联电阻，功率，转换效率，填充因子。