AAO AAO膜板 多孔阳极氧化铝 AAO膜 高端滤膜技术.docx

深圳拓扑精膜科技有限公司是专业从事高端滤膜及组件的研发、制备，集研发、生产和销售为一体的高新科技企业.公司座落于中国经济开放的前沿地带——深圳经济特区。??? 公司的宗旨是求实与创新，致力于应用最前沿的微纳米技术，制备在高精细化工、医疗、生物制药、环境监测、食品、饮料及水处理、空气净化等领域有广泛应用的高端滤膜及组件。??公司技术实力雄厚，在加拿大西安大略大学终身教授带队下，拥有由20多名海内外留学博士组成的多学科背景研发团队。自2005年至今，公司技术带头人和部分成员在加拿大西安略大学实验室从政府及工业界已获得超过600万加元的研究资助经费，已经在微纳米制造、膜材料技术、生物科技和先进功能材料等领域做出突出贡献，在国际一流杂志发表90多篇论文，多篇文章被选为封面文章或重点推介文章，并获得多个专业领域的奖项，比如全国创新创业大赛-先进制造第二名，Xerox（施乐）UAC奖等。一些研究成果被世界主流的学术和新闻媒体广泛报道，如2014年美国工程师协会在ASME大会上采访了我们的技术。在微纳米制造与先进功能材料等领域有超过15年的研究经验，有丰富的科研经验，同时与工业界有着广泛的合作，积累了丰富的技术转化、产品设计与研发经验。不仅申请了多项专利，而且部分研究成果已获得工业界的投资进行产业开发。/超薄AAO模板 产品介绍超薄AAO模板超薄AAO（Anodic Aluminum Oxide）模板为双通结构，厚度仅为几十到几百纳米，广泛应用于纳米点阵列、纳米线阵列等的制备以及衬底表面图案化处理等。超薄AAO模板孔径均一，孔排列短程有序，氧化铝的材质使其在可见光波段是透明的，而且是电绝缘的。相对于其它图形化纳米结构制备手段，超薄AAO模板的独特优势在于可以轻易地获得平方厘米的尺度低至十纳米级的结构，而且成本低廉。图1. （上）超薄AAO模板产品结构示意图；（下）一片较大面积的超薄AAO模板实物图图2. 小面积超薄AAO模板实物图? ? ? ? ? ?超薄AAO模板的一个缺点就是操作困难，这是因为AAO厚度小于1微米时不能自支撑，而且非常脆弱，使用非常不方便。我们将超薄AAO模板表面涂覆一层PMMA作支撑，如图1所示，可以非常方便地取放、裁剪、转移到任意目标衬底之上。较小面积的超薄AAO模板的实物图如图2所示。包装盒内膜的PMMA面为朝下放置。图3. 超薄AAO模板转移方法示意图? ? ? ??超薄AAO模板一般需要转移到目标衬底之上使用，图3给出了带有PMMA支撑层的超薄AAO的一种转移方法。首先将目标基底清洗干净，并进行亲水处理以使AAO将与基底贴合更加均匀紧密。亲水处理可以采用小功率氧气（或空气）plasma清洗处理，或采用紫外光表面处理机处理。然后将PMMA/AAO剪裁成所需形状和大小放置于衬底之上，在膜边缘滴加少许去离子水可以使PMMA部分溶解从而贴于衬底表面。采用丙酮中即可除去PMMA支撑层。除去PMMA之后，由于超薄AAO很脆弱，请勿碰触膜表面，以免AAO破损。图4.?超薄AAO（左）SEM俯视图和（右）30°视图图5. （左）转移到载玻片表面，（右）转移到石英玻璃表面? ? ? ? 图4为转移到硅基底上的超薄AAO模板的SEM图。图5为转移到普通玻璃以及适应玻璃表面的超薄AAO模板的实物照片。可以看到超薄与基底贴合紧密，透明度很高。采用类似方法，可以方便地将大面积的超薄AAO转移到Si、蓝宝石、SiC、ZnO、GaN、ITO、FTO、PDMS、PET等其它基底表面。以超薄AAO为掩膜版，可以进行金属或半导体纳米材料的沉积，从而获得纳米材料点阵，可以以金属纳米点阵为催化剂生长纳米线阵列。可以直接以AAO为掩膜进行基底的刻蚀处理。更多应用实例参见：/newsShow.asp?id=144? ? ???以下为提供产品的典型孔结构规格，其它规格可以联系我们进行定制：孔径(nm)膜厚(nm)孔间距(nm)孔径(nm)膜厚(nm)孔间距(nm)孔径(nm)膜厚(nm)孔间距(nm)201006540200656530010030200655015010080500100单通AAO模板 产品介绍单通AAO模板图1. 单通AAO模板结构示意图?图2.大面积单通AAO模板?? ? ? ?单通AAO（Anodic Aluminum Oxide）模板具有蜂窝状结构（如图1所示），由许多六角形柱体氧化铝（Al2O3）原胞组成，每个原胞中间有个圆形的小孔，在孔的下端有个半球形的阻挡层，阻挡层下方为铝基。单通AAO是AAO系列最为简单的一个，制备容易，成品率高，可实现几百平方厘米以上的大面积均匀制备。图2为我公司生产的一片单通AAO模板。根据制备条件的不同，单通AAO的孔径可以实现孔径10nm到几微米，孔深（即AAO的厚度）连续可控，浅则几十纳米，深获