触媒与缓冲层辅助成长单壁碳奈米管之结构-国立交通大学机构典藏.pdf

奈 立料 奈(SWNTs) 度更 了SWNTs行利 (MPCVD) (ECR-CVD) 不 料來 奈 (SWNTs) 奈料 了度 5~15 nm ZnS-SiO Si N TiN Al O AlN AlON 料 2 3 4 2 3 了度 1~10 nm Co Fe CoCrPtO 理 x (PVD)料2~3 nm SiO行 2 理 力 (AFM) X-ray (XRD) (SEM) (HRTEM) X-ray (XPS) (AES) 拉 (Raman spectroscopy) I-V量 來列論 : 奈列參數 (i) 料 料 度 (ii) 度 料 Co 不 料 狀SWNTs AlON Al O AlN AlNFe更 數量 2 3 狀 SWNTsAlN Al O 兩 料都 CoFe 兩 2 3 料 SiO都 奈奈 2 (MWNTs) I CoCrPtO MPCVD 沈 SiO x 2 600 °C SWNTs AlON度度(~60 µm) 來SWNTs MPCVD ECR-CVD CNTs ( ~2.0 nm 3.6 nm 7.9 nm) 利 ECRCVD Fe Co CoCrPtO x 率 來利SWNTs粒粒 SWNTs 料度度(5~15 nm) 奈度 度更易 奈 度CH /H 流量 不 料來SWNTs 4 2 度不 (Co, ~620 ; Fe, ~610 ; CoCrPtOx ~600 ) 露 了 CH /H 流量 Co Fe CoCrPtO 5/50 1.5/2004/50 4 2 x (sccm/sccm) 句說 CNTs CNTs 度 SWNT 列(1) 奈洞奈粒(2) 奈利 SWNTs (3) 力力(4) 路 SWNTs 料 了粒 FeCoCrPtOx 料奈Co 力 了 SWNT CNTs路 度(~600 ) SWNT CoCrPtO SWNTs CoCrPtO x x 理粒(1~3 nm) 理 PtO CoCrPtO 料奈粒 x x Cr O 奈粒AlON利 2 3 洞粒奈