微型薄膜电阻的制备及研究-电子器件.pdfVIP

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2018-11-16 发布于天津
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微型薄膜电阻的制备及研究-电子器件.pdf

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微型薄膜电阻的制备及研究-电子器件

绗?8鍗绗?鏈鐢瀛鍣浠 Vol饊啺38 No.6 2015骞?2鏈 ChineseJournalofElectronDevices Dec. 2015 PreparationandResearchofMicroFilmResistor* ZHAOLong锛孌UANJunping锛孼HANGBinzhen 锛孋UIJianli* 锛圫cienceandTechnologyonElectronicTestMeasurementLaboratory锛孨orthUniversityofChina锛孴aiyuan030051,China锛 Abstract锛欳ompositewasmixingwiththecarbonnanotubes锛圕NTs锛塧ndnegativephotosist锛圫U-82002锛?Thecarbon nanotubesofdifferentproportionsweredispersedintoSU- 8 2002锛宐ymeansofusingultrasound锛宼hemeanswas foundtopreparethemicroresistorquicklythroughUV-LIGA锛宲rocessingtechnicandhot-pressed.Resistorperfor鈦 mancewastestedofthecompositemembrane.Theexperimentalresultsshowthatresistivityincreasedwiththein鈦 creaseofratioofcarbonnanotubes锛寃hentheconcentrationofCNTsinthecompositewasreducedbelow 12%锛宼he resistivityreducingto 0.06惟鈭檓锛宲ercolationthresholdwasoccurredofthecomposite锛宼hechangeofresistorwith frequencyunder 1.2GHzislessthan5%.Provideanewmethodforquickpreparationofasimplemicroresistor. Keywords锛歝omposite锛沵icro-resistor锛沨ot-pressed锛況esistivity EEACC锛?120锛?520 doi锛?0.3969/j.issn.1005-9490.2015.06.006 寰瀷钖勮啘鐢甸樆鐨勫埗澶囧強鐮旂┒* 璧榫欙紝娈典繆钀嶏紝寮犳枌鐝锛屽磾寤哄埄* 锛堜腑鍖楀ぇ瀛︾數瀛愭祴璇曟妧鏈噸鐐瑰疄楠屽锛屽お鍘?30051锛鎽瑕侊細灏嗗叿鏈変紭寮傜壒鎬х殑纰崇撼绫崇锛圕NTS锛変笌璐熸€ф劅鍏夎兌锛圫U-82002锛夋贩鍚堝緱鍒板鍚堟潗鏂欙紝灏嗕笉鍚屾瘮渚嬬殑纰崇撼绫崇閫氳繃瓒呭０宸ヨ壓鍒嗘暎鍒癝U-82002鎰熷厜鑳朵腑锛岄€氳繃UV-LIGA鍔犲伐宸ヨ壓锛岀儹鍘嬪鐞嗗悗瀹炵幇浜嗗井鍨嬬數闃荤殑蹇€熷埗澶囥€傚澶嶅悎钖勮啘鐢甸樆鐨勬€ц兘杩涜娴嬭瘯锛屾祴璇曠粨鏋滆〃鏄庡鍚堣杽鑶滅數闃荤巼闅忕潃纰崇撼绫崇姣斾緥鐨勫鍔犺€屽噺灏忥紝褰撶⒊绾崇背绠＄殑姣斾緥涓?2%鏃讹紝鐢甸樆鐜囧噺灏忓埌0.06 惟鈭檓锛屽鍚堟潗鏂欒揪鍒伴€炬笚闃堝€硷紝棰戠巼灏忎簬1.2GHz鏃讹紝鐢甸樆鍊肩殑鍙樺寲鑼冨洿灏忎簬5%锛屼负蹇€熷埗澶囧井鍨嬬數闃绘彁渚涗簡鏂扮殑鏂规硶銆鍏抽敭璇嶏細澶嶅悎鏉愭枡锛涘井鍨嬬數闃伙紱鐑帇锛涚數闃荤巼涓浘鍒嗙被鍙凤細TB332 鏂囩尞鏍囪瘑鐮侊細A 鏂囩珷缂栧彿锛?005-9490锛?015锛?6-1240-05 鏃ユ湰绉戝瀹?0澶氬勾鍓嶅湪鍒跺纰崇氦缁寸殑瀹為獙杩姹傝緝楂橈紝宸ヨ壓鐩稿澶嶆潅锛岃€屾祮鏂欐硶鍒跺鐨勭數闃讳綋绉锛?锛绋嬩腑棣栨鍙戠幇浜嗙⒊绾崇背绠★紙CarbonNanotube锛锛岀⒊