db3型电子束爆光机完好要求和检查评定方法.pdf

设备完好要求和检查评定方法 专 用 设 备 中华 人 民 共 和 国 电子 行 业、标 准 sd/T31113- 94 Ds-3型电子束爆光机完好要求 和检查评定方法 主题内容与适用范围 本标准规定了DB-3型电子束曝光机的完好要求和检查、评定方法。 本标准.只适用于DB-3型电子束曝光机。 2 名词与术语 最小线宽 电子束曝光机在涂有感光胶的掩模板上，在指定扫描内所能扫描曝光出线 条宽度 的最小值。 3 完好要求 3.1 精度 3.1.1 最小线条宽度:0.7pm(在1Xlmm扫描场); 3.1.2套刻精度:士。·5Km; 3.2 性能 3.2.1 加速电压:30kV; 3.2.2 最小电子束斑尺寸:}0.3f}m; 3.2.3 电子束扫描频率:500kHz; 3.2.4 工作台移动范围:50X50mm; 3.2.5 工作真空度:5X10-Pa,0 3.3 操作系统 3.3.1 各操作、开关、按钮启动灵活，定位可靠，标志齐全。 13.2 制动、限位装置齐全，灵敏可靠。 3.4 传动系统 3.4.1 工件台运转平稳，无冲击、无振动。 3.5 电气系统 3.5.1 电气性能良好运行可靠，保护装置齐全、有效。 3.5.2 线路完整，绝缘层无破裂、无漏电现象。 3.6 微机控制系统 3-6.1 图形发生器能送出所规定的各种图形。 中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准 1994-06-01实施 451 SJ/r31113- 94 16.2 对工件台、光闸、扫描等的控制作用正常。 3.6.3 微机控制系统各开关、按钮、操作键完整无损，动作灵敏、可靠，控制装置各组成部分保 持完整、功能齐全，性能稳定，工作状态良好，显示清晰。 3.6.4 显示器能正常显示通电自检的正常信息，微机系统通电自检功能必须正常。 3.6.5 输入/输出程序正确无误。 3.6.6 打印机、穿孔机与主机接口良好，工作正常 3.6.7 装置内部清洁，布线整齐，线路无老化、破裂 各线路标志齐全、正确 16.8 所有棵露导体件(包括外壳)，必须与保护接地端子构成通路，保证有7x久良好的导电 性，保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和整机外壳之间的电阻不得大于1S2 3.了 附件 附件齐全，保管良好，无锈蚀 ·无损伤 3.8 安全防护 机器的接地可靠，标志明显 3.9 维护保养 按SJ/T31002-94((设备维护保养通则》执行 4 检查、评定方法 4.1 检查方法 4.1.1 最小线条宽度。.7ym。在涂有感光胶的掩模板上曝一组线条，显影之后用高倍显微镜 测量，一组线条宽度均在。.7pm内。 4.1.2套刻精度士。.5km。工件台沿x或Y方向作分步重复运动，电子束依次在掩模板上扫 描曝光主游标刻线，工件台返回后 ，再作第二次分步重复运动，依次曝光付游标刻线。重复曝光 10。个单元图形，工艺处理后，用显微镜读出主、副游标的误差值，分别计算X,Y游标误差的均 方根值即可。 4.1.3 加速电压30kV，用高压静电计，在3okV的输出端直接测试并读数 4.1.4 最小 电子束班尺寸为 }0.3Nm 将 已知金属线宽尺寸的金属 网格，固定在工作面上 ，便 电子束在金属网格平面上聚焦 并通过其 F方的二极电镜放大。电子束斑与金属网格比较，测 算出电子束斑大小 4.1.5 电子束扫描频率 用微机给数模送数据，在偏转扫描的输出端测试数模波形，并读出相 应的频率 。 4-1.6 工件台移动范围50X50mm。移动工件台的X,Y方向，从读数尺上读出移动距离 X, Y分别为50mm, 4.1.7 工作真空度5X10-Pa。用真空计测试读数即可。 4-1.8 对各系统完好要求所列内容，在设备现场采用主观法检查。 4.2 评 定方法 4.2-， 完好要求所列内容中.3.1..1,3.1.2,3.8为主要项目，其余为次要项目。 4.2.2 主要项目有一项不符合要求，为不完好设备;次要项目有二项不符合