历史电浆显示屏於964年由美国伊利诺大学两位教授DonaldL.doc

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历史电浆显示屏於964年由美国伊利诺大学两位教授DonaldL

電漿科技的介紹與應用 摘要 ????廣義而言,電漿是指一發光的、電中性(electrically neutral)的離子氣團,在這氣團中存在著許多處於激發狀態的粒子,這些粒子包括正負離子、自由電子、自由基、半穩定狀態粒子及中性之原子和分子。由於整體電漿是電中性的,因此其電子密度與負離子密度之總和等於正離子密度。電漿之產生與維持需要附予氣體能量,這些外來的能量造成氣體的離子化,進而產生電漿。輝光放電可以使用低頻(0.5~1OOKHz)的直流(DC)或交流(AC)電源在電極間產生;亦可使用高頻之radio frequency (l3.56MHz)或microwave (2.45GHz)在氣體引入高頻振盪,產生輝光放電。 關鍵字 : 電漿, 電漿的生成與技術 , 電漿的應用 ,電漿電視 , 電漿和液晶的差別? 電漿淡化海水方法? 電漿製造人工鑽石製成? 簡介 : 電漿(Plasmas): 在以前提到物質的三態,為固態、液態、氣態,其實物體的狀態有第四態的存在電漿。電漿是一種部分離子化氣體,其成份包括大量中性氣體原子和少量的陽離子及電子。在自然界中,如地球外圍的電離層、太陽表面、或是星際氣體中,皆存在著電漿(太陽產生的電漿,向宇宙發散出去,形成太陽風;這些帶電粒子被地球的磁場捕捉後,在南北極和大氣層中的氣體分子相撞,形成極光)。此外,若在真空室中通入氣體至數十至數百毫托耳的壓力,並於外部加入交直流電場,使氣體被游離而形成一帶正負電粒子的集合體,亦可生成電漿,在實際的應用上大部分是利用高電場,提供足夠的能量讓原子或分子內部的電子脫離原子或分子的束縛;其實電漿在日常生活中早已存在,例如日光燈內的氣體在使用時就是一種電漿。 真空室內的氣體形成電漿態時,系統所存在的自由度很多,並有無數次碰撞在發生,包含了中性原子與中性原子之間、中性原子與離子間、中性原子與電子間、離子與離子以及離子與電子間的碰撞,使得電漿系統中不斷重覆著游離、激發、弛豫,及結合等動作。而當原子在激發及弛豫動作時,將以發光的方式釋放出能量,成為可用肉眼看到的電漿顏色。 在工業應用上,可利用其粒子的高熱動能,以引發熱和融合反應而產生能源;或 利用外加電磁場控制粒子雲動狀態,來製造雷射或其他電磁波源,即各型原子、分子、離子、電子束。更可直接利用其間粒子的高能量與活潑化學性 質從事化學合成、材料製造、表面處理等工業應用,為近世紀半導體材料製造中不可或缺的重要體系。電漿濺射鍍膜、電漿化學氣相沈積、電漿氧化、電漿及活化離子蝕刻、離子濺射等為幾個著名例子。另一方面,亦可利用電漿系統中激態原子、分子、離子放射出的大量光子來製造各種光源,如離子雷射、弧光燈,或縮小至微米尺度製造電漿平面顯示器等。 電漿體 電漿燈 電漿,中國稱作等離子(體),香港稱為等離子(英文:Plasma),是一種電離的氣體,由於存在電離出來的自由電子和帶電離子,電漿具有很高的電導率,與電磁場存在極強的耦合作用。這種狀態被稱為電漿態,廣泛存在於宇宙中,常被視為物質的第四態(有人也稱之為「超氣態」)。電漿由克魯克斯在1879年發現,「Plasma」這個詞,由朗廖爾在1928年最早採用。 電漿的原理 : 當物質施以高溫或能量而使電子或離子加速時,中性電子會解離為電子、離子及自由基。若不停的施加能量,使物質解離成一團帶陰陽荷電粒子的氣相體,這些物質〈原子、分子、離子、介穩定物質等〉的激發態及及電子所組成的氣相體,其正負電荷粒子相等,這種狀態稱為電漿(plasma)。 常見的電漿 太陽 雷電 極光 電漿是存在最廣泛的一種物態,目前觀測到的宇宙物質中,99%都是電漿,雖然分佈的範圍很稀薄。 人造的電漿 熒光燈,霓虹燈燈管中的電離氣體 電焊時產生的高溫電弧 地球上的電漿 火焰(上部的高溫部分) 閃電 大氣層中的電離層 極光 宇宙空間中的電漿 恆星 太陽風 行星際物質 恆星際物質 星雲 產生方式: 藉由外加的電場能量來促使氣體內的電子獲得能量並加速撞擊不帶電中性粒子,由於不帶電中性粒子受加速電子的撞擊後會產生離子與另一帶能量的加速電子,這些被釋出的電子,在經由電場加速與其他中性粒子碰撞。如此反覆不斷,進而使氣體產生崩潰效應(gas breakdown),形成電漿狀態。 1.電漿的性質 電漿態常被稱為「超氣態」,它和氣體有很多相似之處,比如:沒有確定形狀和體積,具有流動性,但電漿也有很多獨特的性質。 電漿和普通氣體的最大區別是它是一種電離氣體。由於存在帶負電的自由電子和帶正電的離子,有很高的電導率,和電磁場的耦合作用也極強:帶電粒子可以同電場耦合,帶電粒子流可以和磁場耦合。描述電漿要用到電動力學,並因此發展起來一門叫做磁流體動力學的理論。 2.組成粒子: 和一般氣體不同的是,電漿包含兩到三種不同組成粒子

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