PVD与NCVM制程介绍.ppt

一、PVD 原理介紹 二、NCVM 介紹 三、PVD 與 NCVM 常見的不良項目 四、注意事項 A.何謂 PVD？ PVD(Physical Vapor Deposition)物理氣 相沉積法，顧名思義此種薄膜形成的方式乃利用 外力(能量) ，使靶材(Target = Al)由固體變成 氣體，慢慢堆積在物體(Substrate = PC Key)表 面，形成均勻的薄膜。 此薄膜本質上透過物理性變化，所以製程前後 靶材性質變無改變，依據公司案例，我們將鋁靶變 成鋁膜，製程前後仍然是鋁。 B. PVD 的種類 PVD 製程一般常見三種方法： 1.蒸鍍(Evaporation) 2.濺鍍(Sputtering) 3.離子鍍(Ion-Plating) B.1 蒸鍍 B.2 濺鍍 B.3 離子鍍 C. 圓桶型蒸鍍機介紹 C. 立式圓桶型蒸鍍機介紹 C. 圓桶型蒸鍍機介紹 D. In-Line Sputtering 介紹 D. In-Line Sputtering 介紹 E.蒸鍍與濺鍍比較 G. Sputtering 應用 1.外觀膜：金屬、非金屬、多層膜 2.光學膜：抗反射、全反射、光柵 3.功能膜：IR or UV 隔絕、光學開關、EMI 4.透明導電膜：ITO 5.顯示器：OLED 6.其他 A. What is NCVM NCVM (Non-Conductive Vacuum Metalize)顧名思義，為一種非導電的真空金屬化鍍膜製程，或稱為非導電PVD製程，由於一般PVD製程所用的金屬為優良導體，因此PVD金屬化都是導電的，NCVM採用特殊金屬，因此可做出具有金屬光澤同時具備非導電性質的薄膜。 B. Why need NCVM 手機訊號(RF)收發時，若訊號碰到導體，則會受干擾造成訊號變差，甚至訊號無法穿透而無法作用，因此PVD製程會使訊號穿過按鍵時產生干擾。 由於PVD製程能使塑膠表面變成金屬外觀，因此受客戶青睞，為了此外觀需求，於是我們開發NCVM製程，讓按鍵具有PVD金屬外觀，同時又不導電，一舉兩得。 C. NCVM與PVD的差別 a.功能特性－NCVM不導電，不會阻礙訊號 b.製程流程－相同（Primer－鍍膜－H/C） c.Primer 需求－因靶材而異 d.PVD靶材差異 顏色差異 膜厚差異 透光差異 C. NCVM與PVD的差別 a.製程流程—相同 C. NCVM與PVD的差別 b.Primer 需求 PVD使用的靶材為鋁(Al)，NCVM使用的靶材為錫(Sn)或銦(In)，因此Primer材料必須思考與不同金屬靶材的接著性，避免因接著不足而產生百格脫落問題。 就靶材來說，鋁靶的接著效果是最穩定的。 C. NCVM與PVD的差別 c.PVD靶材差異 ★.種類差異： PVD常使用鋁(Al) 、鎳(Ni) 、鉻(Cr) 、不鏽鋼(SUS) 。 NCVM使用靶材錫(Sn) 、 銦(In)、硅鋁(SiAl) 。 C. NCVM與PVD的差別 c.PVD靶材差異 ★.膜厚差異： PVD從很透光到不透光都可以 。 NCVM從很透光到半透光，現況無法做到不透光。 C. NCVM與PVD的差別 c.PVD靶材差異 ★.顏色差異： PVD鋁顏色為銀白色 PVD鎳顏色為銀色帶淡黃色 PVD鉻顏色為銀色帶一點點黑(與電鍍顏色相似) PVD不鏽鋼顏色為銀色帶咖啡色 NCVM錫顏色為銀色帶黑(比PVD鉻深一點) NCVM銦顏色為銀色帶一點點黑(與PVD鉻相似) NCVM矽鋁顏色為銀黑色(比NCVM錫更深) C. NCVM與PVD的差別 c.PVD靶材差異 C. NCVM與PVD的差別 c.PVD靶材差異 ★.正面噴塗配色差異： PVD顏色比較淺，偏銀白色，因此外觀可以做淺色有色金屬的外觀，例如：淺紅金屬色、亮橘金屬色，要做深色比較困難，會產生色差顏色分布不均勻，例如：黑色金屬色、深藍黑金屬色等。 C. NCVM與PVD的差別 c.PVD靶材差異 ★.正面噴塗配色差異： NCVM顏色比較深，因此外觀可以做深色有色金屬的外觀，例如：黑色金屬色、深藍黑金屬色等。做淺色有色金屬色會做不出來，例如：淺紅金屬色、亮橘金屬色，因為淺色塗料在深色金屬上，其顏色也會透底色而變深。 C. NCVM與PVD的差別 c.PVD靶材差異(UV1調色) C. NCVM與PVD的差別 c.PVD靶材差異 ★.背面印刷配色差異： 背面印刷製程的顏色取決於PVD或NCVM的靶材本身顏色，因此顏色的選擇性較少，若無字體，則可將PC素材注塑成有顏色，在背面PVD之後，就會有有色金屬的質感。 C. NCVM與PVD的差別 c.PVD靶材差異 ★.透光差異： NCVM由於鍍膜層會透光，因此做正