- 1、本文档共69页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
CMOS技术知识.ppt
第1章 MOSFET基础1.5 CMOS技术 ;1.5 CMOS技术 什么是CMOS?;1.5 CMOS技术 CMOS的工艺类型;1.5 CMOS技术 CMOS反相器;门电路版图——3. CMOS与非门 ;门电路版图——4. CMOS或非门 ;NOR3/NAND3;NAND4;3.7 CMOS电路的闩锁效应;检测方法;发生闩锁的图片;抑制办法 ;专用集成电路设计 ASIC DESIGN;本次课内容;以倒相器为例;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS反相器图解;设计图层与制版图层的关系;10张版叠加;分层图;分层图;分层图;分层图;分层图;分层图;分层图;分层图;分层图;分层图;Pad metal con poly版叠加;P+ N+ island 版叠加;Pwell rpwell ncf 版叠加;成品率驱动的光刻校正技术 ;a待矫正目标图形 b矫正后成像图形 c矫正后版图图形 ewrad与文献算法矫正后成像图形比较;新世纪的半导体光刻技术集锦 ;生产线简介——硅片 ( Wafer );生产线简介——光刻掩膜版 ( Mask );生产线简介——成品 ( Wafer Dice );生产线简介——硅片生產車間;生产线简介——更衣室 ( Changing Room );生产线简介——光刻車間 ( 一 );生产线简介——光刻車間 ( 二 );生产线简介——投影光刻機 Projection Aligner;生产线简介——步進光刻機 Stepper Aligner ;生产线简介——擴散及氧化爐管;生产线简介——清洗台 ( Clean Station );生产线简介——塗膠機 ( Coater );生产线简介——離子注入機 ( Ion Implanter );生产线简介——濺射台 ( Sputter );生产线简介——乾法刻蝕機 ( Dry Etcher );生产线简介——測試生產車間 ( 一 );生产线简介——測試生產車間 ( 二 );END
文档评论(0)