TFT-LCD制程方案研究.ppt

1 TFT-LCD简易制程 2 液晶显示器(LCD)之用途 3 友达 光电 一厂 二厂 投片,清洗,薄膜,黄光,蚀刻,测试 清洗,配向,框胶,热压,切裂,注入 磨洗贴,FPC,COG,组装,烧机,F/I 投片,清洗,薄膜,黄光,蚀刻,测试 清洗,配向,框胶,热压,切裂,注入 磨洗贴 FPC,COG,组装,烧机,F/I 4 甚么是TFT-LCD ? TFT----薄膜晶体管 Thin Film Transistor LCD----液晶显示器 Liquid Crystal Display 5 TFT-LCD剖面图 6 SOURCE 源 极 DRAIN 汲 极 ITO 画素电极 液晶分子 CRYSTAL CF彩色 滤光膜 B.L 背光 一个晶体管(一个PIXEL) 动作示意图 7 8 Array工程 10 Unipac制程简述 Array:电晶体 矩形数组 Cell:显示单元体 Module:产品模块 11 外购 12 镀膜(sputter,cvd) 上光阻(coater) 对准,曝光(stepper) 光罩(reticle) 显影(developer) 显影 液 蚀刻(etch) 去光阻液 stripper 去光阻 酸, 气体 镀下 层膜 TFT循环制程图解 13 FABⅠTFT之六步骤 14 FAB II TFT之五步骤 TI/AL/TI S-I-N TI/AL/TI PASSIVATION 1.镀上钛铝钛 合金(GATE)厚度 500/1800/1000A 2.S : SiNx (氮硅化合物,绝缘层) I : a-Si (非结晶硅,通道层) N : N+ (高浓度磷的硅)降低界面电位差,使 成为奥姆接触(Omic contact) 3.镀上钛铝钛合金(source,drain) 厚度 500/1800/1000A 4.镀上 5.镀上ITO(铟锡氧化物,透明画素电极) SiNx保护层(把金属部份盖住),并且做 VIA层(使电气信号导入panel) ITO 15 TFT制程简图 16 17 ADI介绍 After Developing Inspection 显影后观察(检查) 1.线幅 -- 线宽 --Critical Dimension 2.配列 -- 同一层光罩之间的衔接 3.重合 -- 不同层光罩之间的对准 不良的产品可以重工 - 去光阻-上光阻-对准-显影 ADI的工作包括: 18 AEI介绍 After Etching Inspection 1.蚀刻后检查 2.去光阻后检查 不良的产品可以补蚀刻 19 TEG在做甚么? 1.量测组件导通电流,ION 2.量测组件截止电流,IOFF 3.量测切入(CUT IN)电压VT 4.量测电压电流曲线TV CURVE 20 ARRAY TESTER在做甚么? 将TFT ARRAY PANEL进行测试 ,如果有短路(SHORT),或是断路( OPEN),就将坐标点记录下来,传给 LASER REPAIR(雷射修复机)修 复之. 21 22 Color Filter简述 23 PI共制程 Polyimide涂覆 24 PI共制程 Rubbing Cloth PI膜配向,基板和 roller成45度角, TFT和CF基板方向 差90 度 25 Pre-tilt angle预倾角 26 SEALANT(框胶点银胶) Spacer SPACER SPRAY SPACER(洒布) 溶剂含甲醇 , 水 27 CF TFT共制程 UV胶 TFT基板 大片组合 CF基板 28 CF TFT共制程 气囊热压 大片组合之基板 热压机hot pressor 115~200度C 4小时,一次 可压18片 压力表 29 CF TFT共制程 切割裂片 切一面,就翻面 先裂这面,然 后再切另 一面,翻面再 裂这一面 30 UV胶 紫外 线 31 液晶注入示意图 液晶 32 再配向Anneal 使用热处理的 方式,加高温, 让液晶分子活 泼化,再将温度 急速降下来,使 液晶分子正确 躺在rubbing好 的PI槽内 33 急冷及清洗 将PANEL浸入 美莎克隆溶液 中,一方面可以 清洗PANEL上残 留的液晶分子和 UV胶,也可以将 再配向好的液晶 分子相位固定. 34 LC制程简图 35 36 37 磨边(去掉短路棒 shorting bar) 短路棒 38 偏光片贴附 上下偏光片滤光角度差90度 39 40 包括:Chips FPC Bonding后用Silicon胶予以封住 IC CF TFT 41