LCD玻璃基板清洗作业指导书.doc

电子有限公司文件 文件编号 共9页 版本 A 电子有限公司 PR前清洗作业指导书 发布日期 2009年3月28 日 生效日期 2009年3月28 日 编制 审核 批准 一.目的:本指导书规定工位的工作内容及步骤二范围:本指导书三.设备: 广州WANYID PR清洗机、 红紫外炉、XX-2 型方块电阻测试仪 小型净化单元等。 四.材料:五.工艺步骤:”单芯过滤器，线绕滤芯，过滤精度为1微米。 8.10液切： 中压喷淋 纯水喷淋1 纯水喷淋2 纯水喷淋3 末端DI 水淋喷 喷嘴类型：美国喷雾公司易拆式扇形塑料喷嘴，每根喷管喷嘴数量为5，每个喷嘴的流量为1.9L/MIN 喷液压力：上喷管最大压力为3.0KG左右，下喷管为0.6KG左右（由球阀调节）， 每个喷嘴的流量为1.9L/MIN 喷洗方式：循环喷洗，向前级溢流。 加热温度：（40±3）℃ ； 液箱容积：100L 液位控制：浮球式液位开关，具有低液位保护功能。 过滤器机棉芯规格：20”单芯过滤器，线绕滤芯，过滤精度为1微米。 8.11纯水喷淋段： 8.12末端DI 水淋喷 8.13风刀吹干 液切风刀：PVC风刀，上下1组，上下风刀风量分别可调，并装有气压表监示风刀压力，可实现量化控制。 风刀数量：上下2组 风刀与传输轴夹刀角：呈25℃角斜置 九、红外烘干 、紫外清洗 1、温度设定（±10℃）：70℃、70℃、70℃、70℃； 2、传送速度：4.0v（旋钮刻度） ； 3、红外烘干时间：（50±5）s 4、紫外清洗 5、UV光强：≥25mW/cm2 ；UV灯使用寿命：3000hr ； 6、UV炉温度：45℃ 以下； 7、传送速度：4.0v（旋钮刻度） ； 8、紫外时间：（10±2）s 。 9.1红外烘干 9.1.1 温度设定（±10℃）：70℃、70℃、70℃、70℃； 9.1.2 传送速度：4.0v（旋钮刻度） ； 9.1.3 红外烘干时间：（50±5）s 。 9.2紫外清洗 9.2.1定期测试 UV光强（C 段：波长 250~260nm） ；当 UV光强≤25mW/cm2 或使用时间达到3000hr时，必须更换新 UV灯； 9.2.2开灯 5min 后才能正常生产，生产过程 UV灯常开； 9.2.3 不要直视 UV光。 十、 停产及交接班管理 10.1 生产结束时检查机器内无残留玻璃后方可停机。 10.2 停产时间较长，必须关闭水、电、气源，再将清洗段内的液体排放并清洁干净，具体可征询工艺人员。 10.3 交接班时需等接班人员到达后方可离开岗位，同时转交并确认已生产及在线玻璃数量，生产产品种类及特殊要求。 十一、注意事项及异常处理 11.1 开启水机时，应先开气，再开水，最后开电，关闭时先关电，再关水，最后关气；有紧急情况时，可先急停键（STOP）停机，再作处理。 11.2 过程如有玻璃破裂需及时清理碎片并通知设备工程师确认原因。 11.3 如有参数无法调节到规定的范围需及时通知设备工程师或工艺工程师。 11.4 清洁操作要求 11.5 每周周一、周四需进行大清洁，较长时间停产时需清洁，复产时需进行大清洁； 11.6 每两周须对清洗机进行双氧水循环清洗；体积比为V H2O2：VH2O=1：10。 十二、清洁规程 12.1 管路的清洁（DI水段除此之外每两周还要用双氧水循环一次）： 1、关闭管路传送电源，用软水和刷子冲刷管路内各个传送轴、各条喷淋管、各把刷子以及各个挡板（且需定期取出用软水刷洗）； 2、然后刷洗内壁（水刷洗不掉的污垢可用白洁布沾丙酮后擦拭干净）； 3、接着用水冲洗盖子，再用拧干湿毛巾擦干净后盖上； 4、最后用拧干湿毛巾擦净管路外壁；清洁完毕。 12.2 液槽的清洁： 12.3 过滤器的清洁： 每次更换过滤芯时，应对过滤器内壁和管道进行冲刷，并用刷子刷洗固定螺母，用布擦拭盖子底部和密封圈；安装完过滤芯后，拧上固定螺母，盖上盖子并拧上螺丝，再用拧干湿毛巾擦拭过滤器表面，清洁完毕。 12.4 清洗机双氧水循环周期：2周，喷淋管和喷嘴清洁周期：2 周； 十三、生产防护 13.1 NaOH 溶液、双氧水溶液为强腐蚀性化学品，生产过程中须小心，切勿直接接触皮肤，操作时须戴手套及防护眼镜；当溶液溅到皮肤时必须及时用大量清水冲洗；当溶液溅到眼睛时，切勿用手搓、揉眼睛，必须及时用大量清水冲洗，严重时须及时找眼科医生就症； 13.2紫外光对人体、皮肤有严重危害，生产时紫外光部分须作密封或挡光处理，切勿直视紫外光；设备运行时身体切勿直接接触加热板、传送轴、传送带、机械手等器件，以防烫伤、卷伤或拉伤。 13.3 接触玻璃时须戴上手