汉钟干式螺旋真空泵PS602系列学习报告.ppt

通风的功能主要有： (1) 提供人呼吸所需要的氧气； (2) 稀释室内污染物或气味； (3) 排除室内工艺过程产生的污染物； (4) 除去室内多余的热量(称余热)或湿量(称余湿)； (5) 提供室内燃烧设备燃烧所需的空气。 建筑中的通风系统可能只完成其中的一项或几项任务。其中利用通风除去室内余热和余湿的功能是有限的，它受室外空气状态的限制。 通风的主要目的是为了置换室内的空气，改善室内空气品质，是以建筑物内的污染物为主要控制对象的。 根据换气方法不同可分为排风和送风。排风是在局部地点或整个房间把不符合卫生标准的污染空气直接或经过处理后排至室外；送风是把新鲜或经过处理的空气送入室内。 对于为排风和送风设置的管道及设备等装置分别称为排风系统和送风系统，统称为通风系统。 报告人：宋宗强  汉钟干式螺旋真空泵PS602系列学习报告 汉钟干式螺旋真空泵 PS602 终极压力：0.7mtorr 干泵壳体温度：80 ℃ 干泵电流8.5A 冷却水流量不得小于4L/min 排气压力150torr 加热N2流量30L/min 齿轮润滑油型号： KRYTOX VPF 1525 或者FOMBLIN YLVAC 25/6 学习内容 1.泵浦结构简介 2.泵浦的操控面板介绍及操作 3.泵浦电控简单介绍 4泵浦一般故障的解决方法 泵浦结构简介 配件消耗 助力泵 1 2 3 6 4 8 7 5 泵浦结构图 1.助力泵 2.螺旋泵 3.冷却水过滤器 4.N2流量计（侦测通往泵浦N2的流量） 5.副水箱（水箱内的冷却水缓冲机壳内的冷却水的压力） 6.N2加热腔流量调节阀 7.高压端板 8.N2加热腔（内含加热器和感温棒） 9.N2流量调节阀 10.外围冷却水入口（下进上出） 11.SEMI接口 12.急停开关 10 9 12 11 泵浦的冷却管路图 泵浦的N2管路图 泵浦的操控面板的介绍及操作 1. 橙色灯闪烁时，为机台预警 紅色灯闪烁时，为机台报警 绿色 螺旋泵运转指示灯 绿色 助力泵运转指示灯 红色 远程控制指示灯 数据传输 方向及参数调节键 返回及复位键 确认及进入键 泵浦开始和停止键 2.操作介绍： 一直按方向键下方向直到出现画面初始界面 按“enter”键进入参数设定（按方向上键可以退回监控画面） 按方向上下键选择要查看和要修改的参数 可以根据需要修改参数。 使用者设定/检视”的密码为：1234. 里面的内容有：显示文字(中/英)，控制模式(本机/SEMI)助力泵浦有无， 助力泵浦延迟时间，助力泵浦自动启动，氮气流量计有无，氮氣質流量警告‘警报加热器温度(10℃)，加入网络，传输速率，同位/资料/停止位，现在日期/时间设定， 记录时间间隔，温度单位(℃/℉)，压力单位， 蜂鸣器，更改设定密码 汉钟设定/检视密码为：5678内容有：警告警报设定保养时数警告设定 校正 其他设定 更改设定密码汉钟设定/检视内部设定为厂家给泵浦的匹配值，如需改动请质询厂家。 泵浦电控简单介绍 2 3 1 4 5 6 7 8 9 10 11 图解：1.漏电保护器（ELB） 2.MD接触器和热继电器（控制干泵） 3.MB接触器和热继电器（控制booster泵） 4.氮气加热温控器 5.CRC继电器（控制氮气加热温控器） 6.CRB继电器（控制MB接触器） 7.CRA继电器（控制MD接触器） 8.氮气加热SSR 9.相序保护器 10.微控器 泵浦一般故障的解决方法 1.A19 螺旋泵浦过载 1）检查螺旋泵浦热继电器电流设定，并复位。 2）检查消音器，排气管是否堵塞 3）手动摇泵。 先用19号扳手将螺丝卸掉，再将8号内六角扳手插入泵内顺时针摇泵 如右侧摇泵费力时，可以将左侧螺栓打开，