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左边是电钻发尘的样子。右边是真空泵发尘的样子。 电动工具的发尘例子 吸尘器各地方排气泄漏的样子。 吸尘器排气的例子 打喷嚏时瞬间发生的飞沫。 打喷嚏时从嘴里泄漏飞沫的样子 从胳膊发汗条件创造。 发汗现象 香烟烟雾的粒子。 吸烟的例子 静坐时产生的尘粒数约 10,000 轻微运动时产生的尘粒数约 100,000 剧烈运动时产生的尘粒数约 10,000,000 运动时产生的尘埃粒子数量 0.5μm 1μm Pre-filter Bag-filter 95% 90~95% 99.99% HEPA filter FAN Filter HEPA/ ULPA CR 99.99% 0.3μm 0.1μm 工作区域 密封条 外框 过滤器介质 波浪型隔离体 褶皱状滤纸 外框 热溶胶 热溶胶 （多处加工） 外框 滤纸 HEPA Filter高效过滤器—— High Efficiency Particulate Air Filter ULPA Filter高效过滤器—— Ultra Low Penetration Air Filter 灰尘是如何去除的呢？ 灰尘是如何去除的呢？ 洁净室的空气净化 电子式风量罩 新风 粉尘检测仪 正压 Relief Damper 风淋室(Air Shower)设于无尘室入口处，具有以下功能： 人员管制 AIR LOCK 气锁功能，防止交叉污染 风速20-25m/s吹落尘埃带走功能，用以吹除人体衣服上及设备、物料、工具的尘埃。 传递箱 (PASS BOX) 置于洁净室隔间墙上之装置功能： 做为洁净室内外物品传递之缓冲区，其可防止于传递物品时由于门的开启而破坏了洁净室气流与室压 可减少作业人员走动的时间而防止外区尘埃的进入 进出口具有不可同时开启的联锁控制，以达到防止交叉污染 照明 无尘室之照度一般要求700Lux以上 泪滴型照明灯具 嵌入式照明灯具 空气洁净度等级 大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pcs/m3) 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um 1 10 2 2 100 24 10 4 3 1000 237 102 35 8 4 10,000 2,370 1,020 352 83 5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29 6 1000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293 7 352,000 83,200 2,930 8 3,520,000 832,000 29,300 9 35,200,000 8,320,000 293,000 国家标准 GB 50073-2001 洁净室及洁净区洁净度等级 洁净室的管理4大原则 不让 灰尘 产生 过滤器本身及外框无漏风 洁净室需保持一定的正压 作业人员需穿洁净服并经风淋 带入的工具、材料等必须擦洗干净 不将 灰尘 带入 迅速 排除 灰尘 不让 灰尘 堆积 清扫作业不留死角，特别是不易清扫的角落和设备周围 尽量减少风管、配管暴露于洁净室内 实施标准化的清扫作业 正确穿着洁净服 不使用容易发尘的物品及材料 减少不必要的人员走动 不用的物品严禁带入 增大换气次数 设备发尘部位应有排气 室内的气流形式应使得灰尘难以在产品上附着 不将灰尘带入 过滤器本身及外框无漏风 过滤器本身及外框无漏风 穿洁净服经过风淋室 带入的工具、材料等必须擦洗干净 防止作业服和皮肤的发尘 不让灰尘产生 正确穿着无尘服 打卡进洁净室 脱鞋并存放柜子里 从消毒鞋柜里取长筒靴 穿连体无尘服 戴无尘帽 戴口罩 穿长筒靴 着装完毕 确认着装状态 取出无尘服、口罩 防止头发和肤屑的掉落 防止口中散发细菌 防止作业服的下摆发尘 普通作业服放进更衣柜 不让灰尘产生 正确使用风淋室 去除鞋底灰尘和异物 风淋结束后走出风淋室 拍拍腋下灰尘，至少转一圈， 风淋15秒/次。 进入风淋室 禁止触碰感应器，躲避风淋 禁止掰动风淋口 同时进入风淋室 不可以超过2人 禁止推玻璃，开风淋室门 使用风淋室注意事项 照相机 手机 木栈板+纸箱 食品 铅笔+橡皮 香烟+打火机 化妆品 保丽龙物品 白板笔+白板擦 未清洁物品及工具 洁净室严禁品举例 *洁净室禁止带入易发尘物品、数码产品、不使用物品、未清洁物品及工具等 无尘打印纸 防静电圆珠笔 美工刀 防静电椅 温湿度计 手持式粉尘检测仪 防静电手套 静电防尘口罩 耐高温胶带 除静电绳 洁净室专用物品举例 *洁净室必须使用专用物品 以Ａ?Ｂ?Ｃ?Ｄ?Ｅ的顺序、从上往下进行清扫。 清扫区域要点图 不让灰尘堆积-洁净室清洁规范