用于纳秒级窄脉冲工作的大功率半导体激光器模块-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ ４ 　 Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．４ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００９ ４ Ａ ｒ．２００９ 　 　 　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９０４０６９５０６ 　 用于纳秒级窄脉冲工作的大功率半导体激光器模块 陈彦超，赵柏秦，李 伟 　 （中国科学院 半导体研究所，北京 １０００８３） 摘要：介绍了一种将脉冲半导体激光器发射系统中的脉冲整形电路、驱动电路、激光器保护电路、激光器集成封装成一个 激光器模块的方式。当激光器工作于纳秒级窄脉冲状态下时，激光器封装引腿产生的电抗会使得耦合进激光器的脉冲 波形劣化，导致能量损失。为得到上升时间短，波形半宽窄，峰值功率大的光输出，改进了激光器管芯的结构并采用混合 光电子集成的方式将驱动电路和激光器管芯封装在一个模块内，使得窄脉冲电信号高效地耦合进半导体管芯。分析验 证表明，改进后的激光器模块的各项输出参数均得到改善。同等条件下，改进后的模块在光脉冲宽度为 ４．５ｎｓ时，峰值 功率比单独封装激光器提高 倍多。测试了激光器模块 曲线，得到了脉冲宽度 左右，峰值光功率 的光 ６ 犝犘 ７ｎｓ １７６Ｗ 脉冲输出。 关 键 词：高峰值功率；半导体激光器阵列；窄脉冲；激光器模块 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＮ２４８．４ Ａ 　　 犎犻犺 犲犪犽 狅狑犲狉狊犲犿犻犮狅狀犱狌犮狋狅狉犾犪狊犲狉犿狅犱狌犾犲 犵 狆 狆 犳狅狉 狉狅犱狌犮犻狀 狀犪狀狅狊犲犮狅狀犱 狌犾狊犲 狆 犵 狆 ， ， ＣＨＥＮＹａｎｃｈａｏ ＺＨＡＯＢａｉｉｎＬＩＷｅｉ ｑ （ ， ， ， ） 犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犛犲犿犻犮狅狀犱狌犮狋狅狉狊犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿 狅 犛犮犻犲狀犮犲狊犅犲犻犻狀 １０００８３犆犺犻狀犪 犳 狔 犳 犼 犵 ： ， ， 犃犫狊狋狉犪犮狋Ａｌａｓｅｒｍｏｄｕｌｅｗａｓ ａｃｋａｅｄｂ ａ ｕｌｓｅｗｉｄｔｈｒｅｕｌａｔｅｄｃｉｒｃｕｉｔ ａｄｒｉｖｉｎ ｃｉｒｃｕｉｔａｌａｓｅｒ