可编程气体质量流量计和累加器.PDF

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可编程气体质量流量计和累加器

FMA-4100 4300 U 23 U U U SPDT U 0 ~ 5 Vdc 4 ~ 20 mA U 32 U RS232 U FMA-4303 U U RS232RS485 CPU 0 ~ 3600 FMA-4100 4300 23 0 ~ 5 Vdc4 ~ 20 mA RS232RS485 FMA-4100 4300 FMA-4100 4300 [101.4 kPa 2 (14.7 psia)21.1°C (70°F)] 0 ~ 5 Vdc IEC 664 4 ~ 20 mALED II II 10 1% K 0.15% 2x 16LCD 0.15%/°C 0.01%/psi (6.895 kPa) D-9 50:1 SPDT (30 Vdc 1A) 600 ms 25 ~ 100%2 11 ~ 26 Vdc 100 mV- 2% 3447 kPa(500 psig) +12 Vdc 200 mA +24 Vdc 100 mA ≤10 SLM1.28 kPa (0.18 psi) 10 SLM27.58 kPa (4 psi) 300 mA 5 ~ 50°C (41 ~ 122°F) 70% 316O FMA-4300 1 x 10-9 SCCS 2x 16LCD 2 316O 10NIST 1% O 9 0 ~ 5 Vdc EPR 3000 4 ~ 20 mA OMEGA 500 20 mV-

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