补正板做成资料.DOC

SQP 光学膜厚分布用补正板制作手册 文書番号：SQP75-9711 Rev. A 制 定 日：2007年4月17日 発 行 日：2007年4月17日 発 効 日：2007年4月17日 中　　文：2008年9月22日 照　査 作　成 製造課 部長承認印 改　　訂　　履　　歴 A 07/04/17 P10-9509Aより書換え 版 改定日 変　更　内　容 承　認 照　査 作　成 配布先 社長 管理者 工場長 規格 品証 総務部 営業本 ＣＳ 技開 薄膜 総務課 購買 技設 製造 生産管 品質管 ○ ◎ 1.目 的 　　明确光学膜厚分布的补正作业方法。 2.适用范围 　　适用于修正光学膜厚分布。 3.作业方法 　　按照「光学膜厚分布检查操作说明书」进行作业。 　　「光学膜厚分布成膜数据表」中填入必要条目。 4.管理方法 　　管理方法按照「检查?试验用测定机器管理准则」。 5.相关操作说明书 SQR11-0101　　检查?试验用测定机器管理准则 SQP82-9701　　光学膜厚分布检查操作说明书 SEIZOU-001　　光学膜厚分布成膜数据表  光学膜厚分布用补正板制作手册　目录 1.序言 Ｐ４ 2.镀膜药材的镀膜条件的设定 Ｐ５ 3.补正板最小幅时膜厚分布的测定 Ｐ６ 4.补正板最大幅时膜厚分布的测定 Ｐ８ 5.补正板的幅的计算 Ｐ１１ 6.已加工的补正板膜厚分布的测定 Ｐ１３ 7.补正板的位置图及加工尺寸图 Ｐ１５ 1. 序言 补正板是 　　伞架各段上放入基板、进行镀膜时，各段基板上的膜厚不一的情况为大家所知。 所以在蒸发源和伞架之间放置使各基板膜厚均匀的遮挡板，此遮挡板称为补正板。 一般使用１～８块平板状的补正板。 　　膜厚分布是 　　测定伞架各段上的基板膜厚，根据膜厚最厚的基板的膜厚值和膜厚最薄的基板的膜厚值来计算。 膜厚差 ＝膜厚最厚的基板的膜厚值－膜厚最薄的基板的膜厚值 中心膜厚 ＝（膜厚最厚的基板的膜厚值＋膜厚最薄的基板的膜厚值）÷２ 膜厚分布 相对于中心膜厚、膜厚分布表示为±多少％。 　　补正幅 　　与补正板长边平行的中心线相垂直的补正板的长度称为补正幅。 　　右図为例、补正板加工前（原板）的补正幅为70mm（①到⑤）。 　　２．蒸镀材料的蒸镀条件的设定 　(1) 蒸镀材料 ａ．材料名　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　 ｂ．折射率　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　(2) 蒸发源的种类 　　　?电子枪 ａ．电子束的大小 　 Ｘ　　　Ｙ 　 ｂ．蒸镀电流值　　　　　　　　　　　　　　ｍＡ ｃ．电流上升时间　　　　　　　　　　　　　秒 　　　?电阻加热 ａ．舟的形状?尺寸 　　　　　　　　　　　　　　　 ｂ．蒸镀电流值　　　　　　　　　　　　　　Ａ ｃ．电流上升时间　　　　　　　　　　　　　秒 (3) 蒸镀材料的量　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 (4) 蒸镀速度　　　　　　　　　　　　　　　　　ｎｍ／Ｓ (5) 极限真空压力　　　　　　　　　　　　　　　Ｐａ (6) 进气量 　　　ａ．进气时的真空压力　　　　　　　　　　　Ｐａ (7) 基板设定温度　　　　　　　　　　　　　　　℃ (8) 支架回转数 　　　　　　　　　　　　　　　ｒｐｍ (9) 补正板　块数　　　　　　　　　　　　　　　块 (10) 支架形状 　　　　　　　　　　　　　　　　球状?圆锥?平板 公转?自公转 (11) 蒸镀基板　　　　　　　　　　　　　 ａ．基板的种类　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ｂ．折射率　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 镀膜材料为高折射率时、使用BK-7或者白板玻璃。蒸镀材料与BK-7（白板玻璃）的折射率相近时，使用SF系的基板或者BK-7或者白板玻璃的单面毛玻璃。 使用650nm左右的波长、用反射式光学膜厚计，在光控片上蒸镀nd=λ/４～3λ/４， 找出能稳定得到期望屈折率的条件。 3.补正板最小幅时（没有补正板时）膜厚分布的测定 3.2 蒸镀 　　 伞架各段上放置已洗净的基板。 拆卸下补正板，用反射式光学膜厚计（OPM），在光控片上蒸镀nd=λ/４～3λ/４。 　3.2 膜厚测定 　　　400～800nm波长范围内，通过有追踪能力的分光光度计，测量光控片以及伞架各段基板的透过或者反射分光特性。