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xl80雷射操作上课讲义

XL80 雷射干涉仪操作上课讲义上海仪昌机电科技有限公司编制手册内容一.RENISHAW 公司简介 1 二.雷射干涉仪原理 2 (1)波的速度 3 (2)干涉量测原理 3 (3)雷射干涉仪 4 (4)雷射干涉仪一般量测项目 4 三.注意事项 5 四.雷射干涉仪防止误差及保养 5 (1)雷射干涉仪防止误差 5 (2)雷射干涉仪保养方法 6 五.安全及注意事项 6 六.雷射光原理及特性 7 七.雷射硬件介绍 8 八.雷射架设流程图 15 九.定位量测原理及操作 16 (1)线性定位量测原理 16 (2)量测方式 17 十.雷射易发生之人为架设误差 20 (1)死径误差 20 (2)余弦误差 21 (3) 阿倍平移误差 21 十一.雷射操作之步骤