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等离子体鞘层中尘埃粒子的分布特性!-物理学报
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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等离子体鞘层中尘埃粒子的分布特性!
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段 萍! 刘金远! # 宫 野! 张 宇! 刘 悦! 王晓钢!
!)(大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,物理与光电工程学院,高科技研究院,大连 !!$% )
)(大连大学物理科学与技术学院,大连 !!$$ )
( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿)
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采用柱槽状电极的流体模型,数值模拟了等离子体鞘层及鞘层中尘埃粒子的分布结构 研究了尘埃粒子数、
)
粒子大小、电极尺寸等因素对尘埃分布结构的影响) 研究表明:当等离子体密度较高时,鞘层较薄,反之鞘层较厚;
当尘埃粒子数少时,尘埃分布形成一层结构,反之则形成多层结构;随电极尺寸的不同,尘埃粒子形成一些复杂而
又有趣的结构)
关键词:尘埃粒子,等离子体鞘层,电极
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所示)
!= 引 言
近年来在对尘埃等离子体的研究中,人们发现
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了许多奇特现象,如尘埃晶格的形成 、单尘埃粒
[— ]
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子在鞘层中的非线性共振 以及尘埃晶格在磁场
[— ]
作用下的旋转( !% 等 在等离子体材料加工中产生
)
图 实验室二维柱槽状电极示意图
!
的带电尘埃粒子,会改变等离子体鞘层的结构,影响
数值模拟区域如图 所示,其中 ,
加工材料的性质,甚至对加工工件造成污染,因此研 ! ? ! ?
是模拟空间的边界,而 , 是电
究带电尘埃在等离子体鞘层中的分布具有重要意
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