IMEC欧洲最大的独立的微电子研究中心.doc

IMEC—欧洲最大的独立的微电子研究中心 背景 1984年，由比利时弗拉芒地方政府投资，以当地几所大学的微电子系为基础，在布鲁塞尔附近的鲁汶市成立了比利时微电子研究中心—IMEC。 现状 发展至今日，IMEC已拥有一千两百多名工作人员，年预算达到一亿两千万欧元，已成为欧洲最大的独立的微电子研究中心。 IMEC拥有一条八寸的先进的半导体中试线，并以商业公司的运作方式管理。洁净室面积有近五千平方米，其中一级洁净室达到两千八百平方米。可支持从0.35微米到0.13微米以下的全套数字CMOS工艺，并支持与数字CMOS配套的可选模块（模拟CMOS，混合CMOS，闪存。。。） 做为一个非赢利性的单位，IMEC每年从当地政府获得部分资助（2000年为总预算的23%），其他资金来源于与全球的相关公司的技术合作、技术转移和技术培训合同。 研究领域 IMEC的研究方向主要是：（1）先进的半导体制造和封装工艺；（2）先进的集成电路设计方法；（3）微系统、新材料、新器件和测试技术。 做为一所独立的科研机构，IMEC在微电子及信息通讯技术领域已成为世界领先者。基础研究和应用研究的平衡、独特的体系结构、以及完善的知识产权管理规则，这三部分构成了IMEC与工业界伙伴合作的良好基础。 合作方式 目前，IMEC已与全球五百多家公司和研究中心建立了合作关系。IMEC的“工业联盟项目”（IIAP）合作方式被公认为是在研发合作模式中最成功的一种，已被美国和欧洲的公司广泛认可。这种合作方式的基础是费用和风险共担，人才和成果共享，并且是建立在健全的知识产权规则之上。尤其是在全球半导体行业处于严重衰退期，技术竞争比以往任何时候都激烈的情况下，这种合作方式将是大势所趋。紧密的合作研究可减低研究经费和研究风险，确保企业能在市场复苏时就做好新技术与新产品的准备工作。 IMEC推出的IIAP合作项目包括： 面向0.1微米以下的最先进的半导体工艺模块技术 193纳米深紫外线光刻 157纳米深紫外线光刻 高介电材料栅级和金属栅级 硅化物和浅结 连线技术（包括铜和低介电材料，CMP） 极洁净清洗技术（包括环境、安全和健康） 嵌入式闪存 0.18-0.13微米BiCMOS 45纳米以下器件和结构 10）其他形式器件（30纳米以下） 先进的IC设计方法学及其应用 无线宽带通信技术（WLAN，OFDM，SIP） 多媒体技术（MPEG4，MPEG21） SOC设计方法 IMEC也采用双边合作方式，与工业界就双方均感兴趣的领域进行合作研发。而且技术转移的模式则是将相对成熟的研发结果转到工业公司，由工业公司针对相应市场/产品进行优化和大规模生产。 合作伙伴 IMEC所拥有的极其广泛的技术转移和合作伙伴包括了绝大部分著名的微电子公司和机构，如Inter, IBM, Applied Materials, AMD, Motorola, Texas Instruments, Sematech,SELETE, Sony, Chartered, Alcatel, TSMC, UMC, Philips, Siemens, Samsung, National, Mitel, Micron, Hitachi, Ericsson, Nokia, Dow Chemical, Allied Signal, ASML, Tower, ASM等等。 IMEC在微点子技术培训方面具有悠久的历史和良好的信誉。在IMEC内部有一个强大的培训中心，培训过大量的大学教师、工程师和管理人员。仅参加IMEC集成电路设计培训的著名公司就包括：Philips, Siemens, Ericsson, Nokia, Inter, Alcatel, Synopsys, Sony, Agfa等等。 IMEC在中国 经过一年多的接触和谈判，在二零零零年，IMEC与上海华虹集团签署了在先进半导体制造工艺上的技术转移和技术合作合同，与信息产业部无锡微电子研究所签署了数字CMOS和闪存的技术转移合同。目前两个合同的执行都相当满意。二零零一年，IMEC又和上海华虹集团签署了更加深入、更加广泛的技术转移和合作意向书，愿意帮助中国真正地掌握核心技术，形成研究开发先进工艺的能力，可持续性地发展国内的集成电路产业。IMEC还与重庆微系统公司签署了关于射频开关技术的技术转移和合作意向书。二零零二年四月，IMEC和上海中芯国际签署了关于先进半导体制造工艺的合作意