华力英寸先进生线建设地点市浦东新区康桥工业区南区所属行业1环评报告.pdfVIP

上 海 环 境 热 线 w w w . e n v i r . c n 说 明 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司，受上海 华力集成电路制造有限公司的投资控股方——上海华力微电子有限 12 公司委托，开展对华力 英寸先进生产线建设项目的环境影响评价。 现根据国家及本市法规及规定，并经上海华力微电子有限公司同意向 公众进行第二次信息发布，公开环评内容。 本文本内容为现阶段环评成果。下一阶段，将在听取公众、专家 等各方面意见的基础上，进一步修改完善。 上海环境热线 工程内容及规模 一、项目概况 上海华力微电子有限公司（以下简称华力微电子）是国家“909”工程升级 改造－－12英寸集成电路芯片生产线项目的建设和运营单位。该项目是国家《电 子信息产业调整和振兴规划》确定的重大工程，也是上海市推进高新技术产业化 的重大项目。 华力微电子已在张江高科技园区建成内地第一条全自动12英寸集成电路代 工生产线，采用全自动硅片搬送系统和全自动派工系统，建立了国内第一条集成 电路“柔性全自动生产系统”，可灵活调配产能，产线良率指标达到业界先进水 平。生产厂房净化面积超过1.5万平方米，生产线采用高端生产设备，能满足浸 没式光刻技术、应变硅技术、铜后道金属互连技术等，工艺水平达到55-40-28nm 技术等级，月产能达3.5万片。 近年来，在市场拉动和政策支持下，我国集成电路产业快速发展，整体实力 显著提升，集成电路设计、制造能力与国际先进水平差距不断缩小。但是，集成 电路产业仍然存在芯片制造企业融资难、持续创新能力薄弱、产业发展与市场需 求脱节、产业链各环节缺乏协同、适应产业特点的政策环境不完善等突出问题， 产业发展水平与先进国家（地区）相比依然存在较大差距，集成电路产品大量依 赖进口，难以对构建国家产业核心竞争力、保障信息安全等形成有力支撑。 此外，随着制程技术的发展，晶圆制造厂不断开发更先进与精密的制程，而 一般以45/40nm制程为分界，包含45/40nm以上制程为成熟制程，而45/40以下 为先进制程，如32/28nm制程、20nm制程、16/14nm制程。 从2016年开始，全球半导体市场呈现复苏状态，并持续增长。预计至2019 年，全球半导体市场营收的复合增长率约3.53%。而大中华区将会是成长最快的 市场区域。 为此，华力微电子投资设立了上海华力集成电路制造有限公司，由上海华力 集成电路制造有限公司作为项目实施单位，选址康桥工业区南区，建设“华力 12英寸先进生产线建设项目”。 二、主要建设内容 1、主要建设内容 1 上海环境热线 该项目用地约44.9公顷，将新建厂房，购买芯片生产设备,增添动力设施。 2、生产工艺 使用硅抛光/外延大圆片，在其清洗干净的表面上，通过氧化或CVD的方法 形成阻挡或隔离层薄膜，由光刻技术形成掺杂孔或接触孔，然后采用离子注入或 扩散的方法掺杂形成器件PN结，最后由溅射镀膜和光刻的方法形成互联引线。 主要生产工序包括：清洗、氧化/扩散、CVD沉积、光刻、干法刻蚀、湿法腐蚀、 离子注入、CMP抛光、铜制程、检测。产品经过以上主要工序多次反复，形成电 路图形。 3、生产规模 12英寸芯片4万片/月。产品主要为逻辑、射频及SOI等电路。 4、建设周期 建设期预计为2017年初启动，至2022年建成