真空脉冲弧光放电装置的设计与研究-等离子体物理专业论文.docx

膜 过 程 中 消 除 大 颗 粒 以及 如 何 提 高 阴 极 弧 等 离 子 体 的 传 输 效 率 的 研 究 工 作 受 到 了更 广 泛 的 重 视 。我 们 设 计 的整 套 装 置 ，不 仅 能 够 稳 定 的 提 供 阴极 弧 的产 生 ，而 且 能 够 方 便 的对 不 同 的条 件 进 行 改 变 ，更 重 要 的 是 能 够 为 我 们 进 一 步 的 对 这 种 新 型 的 脉 冲 式 放 电 架 构 进 行 进 一 步 的研 究 ， 因此 无 论 在 工 业 应 用 领 域 还 是科 研 领 域 都 有 着 广 阔 的 前 景 。 最 后 ，由于 我 们 对 真 空 室 的 改造 ，使 其 能 够 适 应 多 种 放 电 的 需 求 ，并 且 满 足 了各 种 气 压 的要 求 ，对 实 验 室 镀 膜 的研 究 起 到 了至 关 重 要 的影 响 。关键 词 : 阴极 弧 ，脉 冲 ，单 片 机 ，CT H E D E S IG NR E S E A R C HO NT H E P U L S E V A C U U M一A R CA B S T R U C TM a gn e tic F ilte re d Va c uu mP u lse Al e P la sm a P re P ar at io n o f film s 15a n ew tyP e fash io n . In th is P ap er，th e eo n tro llin g sy stem an d c o lle etin g sy ste m o f in sta llatio n Wh ic h 15 u se d to P re P a re film s w ith P u lse Va e u u m 一ar e P la sm a w e re d ise u sse d . F u rth e rm o re ，so m e re late d n arr atea b o u t th e e sta b lish m e n t an d im P ro v e m e nt o f th e v a e u u m c h a m b e r a lso b een d iseu ssed . T he P ow er suP P ly w ith h igh v o ltag e P u lses an d h igh e le ctrie c u rre n t， th e d e sign o f th e S C M th at e o nt ro l th e P o w e r ’5 P u lseP e rio d s， fre q u e n c y， an d th e P ro c e ss o f its P ro d u e e h av e b e e n stu d ie d sP e e ia lly. In a d d itio n ，w e m a d e a n d im P ro v e d th e e le e tro d e ，m a g n e tic filte re d e u rv e an d th e stru e tu re o f th e v a e u u m e h a m b e r-In th is P ap e r，w e e m P h a s iz e d o n th e re se a re h o f th e P rin c iP le o fP F N s an d its P aram eter. N ot on ly elarify the b asic P rin eiP le，b ut alsoin tro d u e e d a n “e ffi e ie n e y 一e n e h a n e in g d io d e ，，w h ie h a llo w s th e L C c irc u it to d o m o re “sw in g ，，a fte r th e ar e P u ls e ，th e re b y e h a rg in g th e e ap a e ito rs to th e co rre et P o lar ity. T h e e aP ae ito rs are th ere fo re re eh a rg e d m u ch faster ifth e e ffi e ie n e y