一种rfid产品esd,eeprom问题的分析和解决-集成电路工程专业论文.docx

目录摘要 . . . . . . . . . . . . . . . .. . . . . … … ，. . .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . … …1A b s t r a c t . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ……2引言 . . . . . . . . . .. . . . . .. .. .. .. .. . .. . . .. . . . . . .. . . . . .. . . . . . .. . … …3第 一 章问题 的 提 出 和 现 象 描 述 . . . . . .. . . .. . . . . . . . . . . . .. . .. . . .. . … …5第 一 节KF ID 产 品 简 介 ……，.，……5第 二 节E S D 简 介 ……7第 三 节E E P R O M 简 介 ……，……，… …9第 四 节问 题 的 提 出和 现 象 描 述 ..……，;…… n第 二 章问题 的 分 析 和 定 位 . . . .. .. . .. . . .. . . .. . .. . . . . .. . . . . . . . … …12 第 一 节失 效 样 片 的 功 能 和 性 能 测 试 ……，.… 12第 二 节失 效 分 析 实 验 及 定 位 ……，…… 巧 第 三 章改 进 措 施 及 效 果 确 认 .. . . . . . .. . . .. . . . . .. . . . . . .. . . .. . .. … …23 第 一 节设 计 改 进 与 工 艺 调 整 ……23第 二 节改 进 效 果 确 认 ……37第 三 节 改 进 效 果 综 述 .，……44 第 四 章 总 结 与 结 论 二 ，. . . . . . . . . . . . . . . . .. .. . . .. . . . . . . . . . .. . . . … … 45 致 谢 : . . .. . . . . .. . . . . .. .. . . . . . . . . . . .. . . .. .. . . . . . . . . . .. . . . . . . . … …4 7参 考 文 献 : . . . . . . . .. . . . . .. . . .. . . . . . .. . . .. . . . . . . . . . . . .. . . . . . . . … …4 8摘要芯 片 的 E S D (E L E C T R O ST A T 工C D 工S C队 R GE ，静 电 放 电 )现 象 不 是 个 新 鲜 事 情 ， 但 是 它 的 破 坏 力 却 是 很 大 的 ，尤 其 是 RF 工D( RA D 工0 F R E QU ENC Y ID E N T 工Fl c A T 工0N ，射 频 识 别 ) 的 卡 片 产 品 ， 在 加 工 模 块 和 卡 片 的过 程 中 ， 会 产 生 极 其 强 大 的静 电 ， 而 且 通 用 市 场 的加 工 厂 参 差 不 齐 ，因 此 对 芯 片 的 E SD 能 力 提 出很 高 的要 求 ，本 文 通 过 分 析 解 决 本 公 司 R FI D 产 品 的 E SD 失 效 具 体 问 题 ， 目的 是 优 化 当 前 R F ID 产 品 的 抗 E SD 能 力 ， 降 低 产 品 加 工 过 程 和 应 用 过 程 中 的 失 效 率 ， 提 高 产 品 性 能 ，提 升 跟 国 际 同类 产 品 竞 争 力 。在 目前 国 内 0 . 18 um RF ID 产 品 的 EE PR OM 工 艺 还 不 是 很 成 熟 的 情 况 下 ，本 文 通过 分 析 解 决 一 种 RF ID E E P R OM 读 出 检 查 失 效 的 具 体 问题 ， 目的 是 优 化 当前 0 . 18 umE EP R OM RF 工D 产 品 相 关 加 工 工 艺 。本 文 通 过 采 用 数 据 分 析 、 失 效 定 位 、 实 施 改 进 、 效 果 验 证 的 方 法 ， 进 行 了大 量 失 效 分 析 、 实 验 与 验 证 ， 充 分 地 分 析 了 新 产 品 造 成 加 工 失 效 率 低 的 根 本 原 因 。 最 终 确 定 了 由于 各