铁氧体表面加工质量与使役性能的映射关系研究-机械工程专业论文.docx

优秀毕业论文 精品参考文献资料 目 录 中文摘要 I ABSTRACT II HYPERLINK \l _bookmark0 目 录III HYPERLINK \l _bookmark1 第一章 绪论1 HYPERLINK \l _bookmark2 1.1 选题的背景与意义1 HYPERLINK \l _bookmark3 1.2 铁氧体材料加工技术2 HYPERLINK \l _bookmark4 CMP 技术介绍 3 HYPERLINK \l _bookmark5 CMP 原理 3 HYPERLINK \l _bookmark6 CMP 技术特点 4 HYPERLINK \l _bookmark7 CMP 机床分类 4 HYPERLINK \l _bookmark8 1.5 铁氧体材料研究状况6 HYPERLINK \l _bookmark9 1.5.1 铁氧体材料的制备、成分研究状况6 HYPERLINK \l _bookmark10 1.5.2 加工质量与铁氧体材料性能的研究状况7 HYPERLINK \l _bookmark11 1.5.3 铁氧体材料特性的数值仿真状况8 HYPERLINK \l _bookmark12 1.6 本课题的主要研究内容和总体研究方案9 HYPERLINK \l _bookmark13 第二章 铁氧体材料抛光工艺研究7 HYPERLINK \l _bookmark14 2.1 CMP 抛光轨迹研究 7 HYPERLINK \l _bookmark15 2.1.1 行星轮系抛光轨迹7 HYPERLINK \l _bookmark16 2.1.2 抛光头旋转式抛光轨迹14 HYPERLINK \l _bookmark17 2.1.3 抛光头直线摆动式抛光轨迹18 HYPERLINK \l _bookmark18 2.1.4 抛光头弧形摆动式抛光轨迹22 HYPERLINK \l _bookmark19 2.2 抛光过程材料去除均匀性研究24 HYPERLINK \l _bookmark20 2.2.1 研究对象与准备24 HYPERLINK \l _bookmark21 2.2.2 抛光过程工件材料去除均匀性的数值分析26 HYPERLINK \l _bookmark22 2.3 本章小结32 HYPERLINK \l _bookmark23 第三章 铁氧体材料抛光表面质量评价38 HYPERLINK \l _bookmark24 3.1 铁氧体材料抛光表面质量评价38 HYPERLINK \l _bookmark25 3.2 表面质量检测方法39 HYPERLINK \l _bookmark26 3.3 铁氧体工件表面形貌与三维粗糙度测量实验41 HYPERLINK \l _bookmark27 3.3.1 实验测量装置41 HYPERLINK \l _bookmark28 3.3.2 实验方案与测量参数介绍42 HYPERLINK \l _bookmark29 3.4 铁氧体工件表面质量的综合评价44 HYPERLINK \l _bookmark30 3.4.1 损伤形式分析44 HYPERLINK \l _bookmark31 3.4.2 A 组实验结果分析 44 HYPERLINK \l _bookmark32 3.4.3 B 组实验结果分析 47 HYPERLINK \l _bookmark33 3.4.4 A、B 组实验结果对比 49 HYPERLINK \l _bookmark34 3.5 本章小结50 HYPERLINK \l _bookmark35 第四章 铁氧体电磁性能有限元仿真研究51 HYPERLINK \l _bookmark36 4.1 软磁 MnZn 铁氧体使役性能介绍 51 HYPERLINK \l _bookmark37 4.1.1 磁滞回线51 HYPERLINK \l _bookmark38 4.1.2 初始磁导率52 HYPERLINK \l _bookmark39 4.1.3 损耗角正切和品质因素52 HYPERLINK \l _bookmark40 4.1.4 电感系数 AL 与电感值 L 52 HYPERLINK \l _bookmark41 4.2 ANSOFT MAXWELL 电磁场有限元分析软件介绍 53 HYPERLINK \l _bookmark42 4.3 EE 型软磁铁氧体磁芯三维有限元仿真 54 HYPERLINK \l _bookmark43 4.4 仿真结果分析5