增资建设12英寸集成电路芯片生产线项目项目调整环境影响报告书.pdf

上海环境热线 申明 上海达恩贝拉环境科技发展有限公司受中芯国际集成电路制造（上海）有限 公司委托开展对增资建设12英寸集成电路芯片生产线项目项目调整的环境影响 评价。现根据国家及本市法规及规定，并经中芯国际集成电路制造（上海）有限 公司同意向公众进行第二次信息发布，公开环评内容。 n 本文本内容为现阶段环评成果。下一阶段，将在听取公众、专家等各方面意 c 见的基础上，进一步修改完善。 v. o g r. i v n e w. w w 上海环境热线 增资建设12 英寸集成电路芯片生产线项目项目调整 环境影响报告书调整报告第二次信息发布文本 1建设项目概况 1.1建设项目的地点及相关背景 （1）建设地点：上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号现有FAB8厂内； （2 ）项目背景： 2009年中芯上海公司在原增资12英寸项目基础上进行调整，委托信息产业电 子第十一设计研究院有限公司编制了《增资建设12英寸集成电路芯片生产线项目 项目调整环境影响报告表》（以下简称“增资12英寸项目调整报告表”，于2009 年11月取得上海市环保局环评批复（沪环保许管【2009 】1028号），2012年获得 n 上海市环保局试生产申请批复，2013 c 年7月上海市环境监测中心完成项目验收监 . 测，于2013年11月取得合格的监测报告，尚未取得竣工验收批复。 v o 该增资12英寸项目调整实施过程中，与原报告表的内容有四点变更，主要为： g . （1）改变晶圆清洗方式，调整并增加清洗设备，增加硫酸、双氧水用量， r i 相应增加废酸产生量。 v （ 2 ）为提高良品率，增加湿蚀刻过程中磷酸使用量。 n e （3 ）Wet机台使用的硝酸废液增加废酸收集槽，收集后委托有资质单位处 . 理。 w （4 ）新增酸性风机一套，由原来6套改为6用1备（共7套），总