基于MEMS的磁流体压力传感器.ppt

基于MEMS的磁流场压力传感器 ;本文内容提要 ;一磁流体传感器的背景及发展现状、趋势;根据检测量不同可分为以下几类： 角度传感器、体积传感器、 流量传感器、磁场传感器、加速度传感器等 工作原理： 利用“磁流体在外磁场的作用下，对硅膜片产生压力”而实现压力致动，并用霍尔压力传感器测量所产生的压力大小，为微系统的压力致动和压力测量提供参考。 ;发展现状 磁流体传感器研究在国内目前还处于起步阶段,在国外报道的研究成果也不多,有很多工作有待深入研究； 磁流体传感器研究在国内目前还处于起步阶段,在国外报道的研究成果也不多,有很多工作有待深入研究； 磁流体传感器的实验设计方案、验证手段等方面也不够系统和完善,与工程实际应用有较大差距； 发展趋势 新型磁流体传感器的传感机理、建模和仿真优化技术将是未来磁流体传感器研究的一个重要方向;充分发挥磁流体具有流动性、磁性,在外磁场作用下可以改变其粘度等特点,基于磁场作用下的磁流体传感器智能性也将是一个重要研究内容。 ;二 磁流体压力微传感器工作原理;磁流体;磁流体制作工艺过程;工作原理 ; 为了产生磁场梯度，将一磁铁放到微定位器上，如图（b）所示。 ;;将磁流体作为不可压流体考虑，则在没有外加磁场的 情况下，硅模腔内的压力可表示为：;;;三 实验结果;四 体会;