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机电101第三组,传感器5.4.ppt

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机电101第三组,传感器5.4

5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 ; 由式(5 - 14)可见, 输出电容的相对变化量ΔC/C与输入位移Δd之间呈非线性关系。当 Δd/d0 1 时,可略去高次项, 得到近似的线性: ;; 在实际应用中, 为了提高灵敏度, 减小非线性误差, 大都采用差动式结构。图5 - 9 是变极距型差动平板式电容传感器结构示意图。 在差动式平板电容器中, 当动极板位移Δd时, 电容器C1的间隙d1变为d0-Δd, 电容器C2的间隙d2变为d0+Δd, 则 ;电容值总的变化量为 ;略去高次项,则 与 近似成为如下的线性关系:

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