2013年必威体育精装版《薄膜材料与技术》ppt课件合集 西安理工大学.pdf

Thin Film Materials Technologies 课程简介 总学时数：24 学时，每周4 学时，9-14 周 课程性质：材料类专业院级任选课 学习：薄膜材料的合成制备、形成机制、成分结构、性质性能 掌握：薄膜材料的基本概念、一般规律和工艺方法 ！ 教材： 郑伟涛：薄膜材料与薄膜技术（第2版）， 化学工业出版社，2008 唐伟忠：薄膜材料制备原理、技术及应用（第2版）， 冶金工业出版社，2003 西安理工大学 薄膜材料与技术 Xian University of Technology -1- 材料科学与工程学院2008© Thin Film Materials Technologies 课程简介 主要参考书： 1、田民波，薄膜技术与薄膜材料，清华大学出版社，2006 2、M.Ohring ，薄膜材料科学（第2版影印本），世界图书出版公司，2006 3、杨帮朝，薄膜物理与技术，电子科技大学出版社，2006 4、戴达煌，现代表面技术科学，冶金工业出版社，2004 教学要求和考核方式： 1、不缺课，杜绝迟到，认真听讲，独立思考； 2、要复习并独立完成作业，作业要评分； 3、开卷考试，考核成绩＝作业（10%）+ 课堂（10%）+ 考试（80%）。 西安理工大学 薄膜材料与技术 Xian University of Technology -2- 材料科学与工程学院2008© Thin Film Materials Technologies 主要教学内容 第1 章 真空技术基础（2 学时） 真空的基本知识、获得方法和测量技术 第2 章 薄膜制备的化学方法（6 学时） CVD 技术的原理、分类、设备工艺及应用场合 其它基于化学方法的薄膜制备技术的原理、特点和应用领域 第3 章 薄膜制备的物理方法（6 学时） 蒸发、溅射、离子镀等PVD 技术的原理、工艺及适用领域 第4 章 薄膜的形成与生长（6 学时） 薄膜形核、生长、形成理论；典型生长机制及对应结构特征 第5章 薄膜表征（4 学时） 薄膜材料现代表征方法的分类、原理和适用范围 西安理工大学 薄膜材料与技术 Xian University of Technology -3- 材料科学与工程学院2008© Thin Film Materials Technologies 本课程讨论的对象： 什么是薄膜（Thin film）？ ①相对尺度：某一维尺寸 其余二维尺寸； ②绝对尺度：在此维度上材料厚度 1~5 m ， 厚度 5 m 的沉积层叫什么？ 一般称为涂层(Coatings) 本课程的讨论对象是什么？ 具有结构/功能特性的固态薄膜（thin solid films ）！ 西安理工大学 薄膜材料与技术 Xian University of Technology -4- 材料科学与工程学院2008© Thin Film Materials Technologies 本课程的研究内容