34寸内圆切片机说明书中文版.doc

内圆切片机说明书 （中文版） 1 设备概要与安全 1-1 ）机械概要 本设备是切断8英寸以内的硅块的内圆刀式切断机。随着半导体装置的高集成化，对硅片提出了高精度化、大口径化的需求。但随着硅片的大口径化，切断时的“弯曲”“平坦度”变大等问题也随之产生。本设备利用高精度化技术与控制技术解决了这些问题，弯曲及平坦度比以前的设备提高了1/2(1/3精度。 ( 自动弯曲控制技术【ABC】 ( 针对在切断结晶块时发生的内圆刀片“弯曲”，通过在加工重进行测试控制，让其随时保持最佳的内缘刀片状态 ( 对话式CNC控制 ( 通过利用本公司独立开发的TOYOMATIC容易操作，提高了局部控制精度及可靠性 ( 分度精度的提高 通过滚轮导向与NC控制，实现了高分度精度，提高了产品精度 ( 通过紧密、压缩，节省了空间，实现了轻量化  1—1ez 1-2）关于安全 请根据本使用说明书，安全正确地使用 本机包含卸料装置在内来，安装了连锁装置，确保安全。但因为做动部位很多，不仅平时动作时要注意安全，在检查、整理设备的时候也要十分注意安全。 ( 自动允准中的注意事项 请注意在自动运转中不能进入设备的可动范围（下图斜线部） * 伸缩罩 在自动运转中，不要交换BD装置（刀片传感）的记录纸 （在M/C周期停止状态下交换） 在进行初期切断条件设定时使用，必须将CRT画面的手动操作选择键关上后才能挂到挂钩上（在挂到挂钩之前如果不小心掉下去了，可能导致NC轴做动，很危险） 请不要在自动修正盖上覆盖东西等，避免给它施加荷重 ( 在放装长形结晶块时，因很重，需2人一起作业 当人站在伸缩罩上时，请不要开动切断台 拆下与装上刀片时，安装结晶块时，设定倾斜角度时，按下紧急停止按钮，关掉电源开关后拔掉钥匙，钥匙由专人保管 ( 检查、整备、清扫时，在进入1-1项所叙述的设备可动范围时，必须按下紧急停止按钮，关掉电源的钥匙开关后，再进一步将控制柜的主闸关上之后才能作业。 钥匙由专人保管。 1-2B 即便在以上的各操作以外的情况，如果要进入1-1项所述设备的可动范围，则必须按下紧急停止按钮，关掉电源拔掉钥匙，方可进行作业。钥匙由专人保管。 2 规格和各部位名称 2-1设备规格（T-SM-200型、切割设备） { 主机规格标准} 项目 单位 内容 切割方式 内周刀片式 加工控制 自动刀片弯曲控制 工件的切割方式 mm 6寸—8寸*600 切割进给行程 mm 300 进给速度 m/min x轴5 z轴 2.5 工件分度行程 mm 700 分度量设定范围 mm 0.0005—9.9995 角度设定范围 垂直方向(5度（手动） 最小刻度 水平方向(（手动） 工件进给方向/结晶块插入方向 横型/前方 刀片尺寸 mm 刀片 机械式 主轴轴承/旋转数 向心推力球轴承/Max 1600pm 主轴电机 5.5Kw—4P 分度驱动 Kw 0.6 Ac伺服 切割进给驱动 Kw 0.6 Ac伺服 设备大小 mm （W） （L） （H） 2300 × 2750 ( 2250 设备重量 Kg 4200Kg 3 2-2 各部名称 1） A B C控制传感 2） 内圆切割刀片 3） 张紧盘 4） 工件（硅结晶块） 5） 硅棒托架 6） 冷却剂流量计 7） 清洗用冷却剂喷头 8） 吸附器 9） 卸料机 10）碳精剥离装置 11）BD系统（刀片变位计） 12) CNC操作盘 13) 工件分度装置 14) 倾斜装置（摇摆装置） 15) 切断台 16) 工作台 17) 电气柜 18) 真空装置 19) 20) 冷却水排出口 2-4e 3搬运及安装 3-1） 搬运 ( 在设备原点停止运转 ( 拆下工件、冷却水源、气源、真空软管、电源等的连结 ( 倾斜部的倾斜、左右上下全部归零，拧紧个固定螺栓 ( 用固定铁（A）（B）（C）（D）【红色】将各部固定起来 安装固定块时，请拆下主轴皮带轮进行安装 ( 倾斜上下调整螺钉 ( 倾斜上下旋转调整螺栓（2根） ( 倾斜左右旋转调整螺钉 ( 倾斜左右旋转固定螺栓 图3—1 固定金 3-1 3-2） 安装 安装的场所所要满足下述条件 周围温度： 温 度：55%(15% 不能放在阳光直射的场所 周围不能有振动 ( 安装基础 此设备如果放置在外部的强烈振动不容易传递进来的地方的话，就没有必要进行特别的基础处理 放置在平坦的水泥地上固定好